工業(yè)氣體（電子特氣）行業(yè)現(xiàn)狀，電子特氣領(lǐng)域A股重點(diǎn)公司梳理！

01工業(yè)氣體/電子特氣現(xiàn)狀

電子特種氣體在集成電路制造材料成本構(gòu)成中位居No.2，僅次于硅片，約占晶圓制造成本的13% 。從國(guó)際市場(chǎng)規(guī)模來看，2017-2024年復(fù)合增長(zhǎng)率約為6.1% 。國(guó)內(nèi)同期年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到14.4%，明顯高于全球增速。集成電路用電子特氣受益于國(guó)內(nèi)晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)維持高速增長(zhǎng)。

我國(guó)電子特氣下游應(yīng)用主要集中在集成電路（占比約42%）、顯示面板（占比約37%）、光伏（占比約13%）三大領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)電子特氣國(guó)產(chǎn)化率已從10年前的不足10%提升至2025年的約25%，在部分品種上已實(shí)現(xiàn)突破。國(guó)內(nèi)主要生產(chǎn)企業(yè)包括中船特氣、華特氣體、南大光電、昊華科技等。

2026年以來，氦氣價(jià)格大幅上漲、日本供應(yīng)中斷、鎢出口管制等因素影響，工業(yè)氣體板塊表現(xiàn)活躍，比較典型的事件是中東局勢(shì)和中國(guó)加強(qiáng)對(duì)鎢出口管控，推高六氟化鎢價(jià)格，加速國(guó)產(chǎn)替代。

電子特氣行業(yè)的技術(shù)門檻極高，主要體現(xiàn)在以下方面：

純度要求極致嚴(yán)苛：先進(jìn)芯片制造工藝要求特氣純度達(dá)到6N（99.9999%）至9N（99.9999999%）級(jí)別，即便是ppb（十億分之一）級(jí)別的微量雜質(zhì)，也可能直接損壞價(jià)值數(shù)千萬(wàn)美元的晶圓產(chǎn)線。

核心技術(shù)環(huán)節(jié)復(fù)雜：電子特氣生產(chǎn)涉及合成、純化、分析檢測(cè)、充裝等多項(xiàng)工藝技術(shù)。分離純化技術(shù)方面，精餾、吸附、升華凝華等，是產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)高端應(yīng)用的核心前提。分析檢測(cè)能力能力方面，痕量雜質(zhì)分析檢測(cè)技術(shù)是質(zhì)量保障的核心手段，ppb級(jí)檢測(cè)設(shè)備和能力仍依賴進(jìn)口。充裝技術(shù)方面，鋼瓶?jī)?nèi)壁納米級(jí)鈍化處理、超凈閥門密封等技術(shù)存在短板，可能導(dǎo)致二次污染。

品種覆蓋難度大：集成電路、顯示面板、光伏等行業(yè)所用電子特氣數(shù)量超過100種，國(guó)內(nèi)企業(yè)整體起步較晚，在產(chǎn)品種類、工藝水平、綜合服務(wù)能力方面與國(guó)際巨頭存在差距。

02綜合龍頭與設(shè)備王者

1. 杭氧股份 （002430）：中國(guó)空分設(shè)備與工業(yè)氣體絕對(duì)龍頭，國(guó)內(nèi)唯一具備“工程成套、設(shè)備制造、氣體運(yùn)營(yíng)”全產(chǎn)業(yè)鏈能力的企業(yè)。拳頭產(chǎn)品為大型/特大型空分設(shè)備（單套制氧能力達(dá)11萬(wàn)Nm3/h）、管道氣、電子特氣（如高純液氧）。

國(guó)內(nèi)空分設(shè)備市占率約43.2%（第一），特大空分設(shè)備市占率高達(dá)60%；國(guó)內(nèi)工業(yè)氣體運(yùn)營(yíng)市占率約6%（內(nèi)資第一）。具有設(shè)備自制優(yōu)勢(shì)，空分設(shè)備占現(xiàn)場(chǎng)制氣成本的50.8%，自制設(shè)備使其成本顯著低于外購(gòu)設(shè)備的氣體商。同時(shí)深度布局氫能、核聚變低溫系統(tǒng)，代表中國(guó)深冷技術(shù)最高水平。神華寧煤10萬(wàn)等級(jí)空分設(shè)備的成功運(yùn)行，打破了外資在特大型設(shè)備上的壟斷，是“大國(guó)重器”的代表。

2. 中船特氣 （688146）：中國(guó)電子特氣產(chǎn)能規(guī)模第一的央企巨頭，全球含氟特氣領(lǐng)導(dǎo)者。拳頭產(chǎn)品為三氟化氮（NF?，產(chǎn)能18500噸/年，全球第一）、六氟化鎢（WF?，產(chǎn)能2000噸/年，全球第一）、三氟甲磺酸系列（全球第一）。

國(guó)內(nèi)電子特氣市場(chǎng)份額第一，全球第九；集成電路領(lǐng)域收入占比超61%。憑借全球最大的單體產(chǎn)能，擁有極強(qiáng)定價(jià)權(quán)。背靠中船集團(tuán)，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性極強(qiáng)，已進(jìn)入臺(tái)積電、中芯國(guó)際等頭部供應(yīng)鏈。光刻氣通過ASML子公司Cymer認(rèn)證，進(jìn)入ASML設(shè)備零部件供應(yīng)鏈；雙三氟甲磺酰亞胺鋰切入固態(tài)電池電解質(zhì)材料領(lǐng)域。

3. 南大光電 （300346）：前驅(qū)體材料（MO源）國(guó)家隊(duì)，ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化唯一實(shí)現(xiàn)者，電子特氣重要玩家。拳頭產(chǎn)品為MO源（市占率全球領(lǐng)先）、高純磷烷/砷烷（LED/IC領(lǐng)域核心特氣）、ArF光刻膠。

MO源全球龍頭之一；特氣業(yè)務(wù)在LED領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)，正快速切入IC領(lǐng)域；光刻膠實(shí)現(xiàn)從0到1突破。橫跨特氣與光刻膠兩大高壁壘材料，擁有極高的毛利率（40.85%），凈利率接近20%，是盈利能力最強(qiáng)的電子材料企業(yè)之一。不僅賣氣體，更賣“添加劑”和“光刻膠”，客戶粘性極強(qiáng)，技術(shù)護(hù)城河極深。

03電子特氣專精特新與進(jìn)口替代先鋒

4. 華特氣體 （688268）：國(guó)產(chǎn)特種氣體進(jìn)口替代先鋒，品種最豐富的民營(yíng)氣體公司之一。拳頭產(chǎn)品為光刻氣（通過ASML認(rèn)證）、高純四氟化碳、高純氨、高純二氧化碳等約240余種產(chǎn)品。

國(guó)內(nèi)唯一通過荷蘭ASML和日本GigaPhoton認(rèn)證的光刻氣供應(yīng)商，客戶覆蓋臺(tái)積電、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等主流晶圓廠。品種多、迭代快，能夠提供“一站式”服務(wù)。在解決“卡脖子”氣體方面嗅覺敏銳，常常先于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。品系齊全，抗風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)。

5. 昊華科技 （600378）：含氟特氣國(guó)家隊(duì)，全球六氟丁二烯龍頭。拳頭產(chǎn)品為六氟丁二烯（產(chǎn)能1200噸/年，全球第一）、三氟化氮（5000噸/年，全國(guó)前三）、聚四氟乙烯等。

不僅是電子特氣供應(yīng)商，更是中國(guó)化工新材料領(lǐng)域的巨無霸。依托中國(guó)中化集團(tuán)，資源整合能力強(qiáng)。從螢石礦到高純特氣，成本控制能力極強(qiáng)。六氟丁二烯作為新一代蝕刻氣體（可用于3nm制程），壁壘極高。具有軍工背景，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，是半導(dǎo)體先進(jìn)制程關(guān)鍵材料的核心供應(yīng)商。

6. 金宏氣體 （688106）：綜合型氣體服務(wù)商，華東地區(qū)的民營(yíng)氣體龍頭。拳頭產(chǎn)品為超純氨（國(guó)內(nèi)市占率超50%）、高純氧化亞氮、高純氫、電子大宗載氣。在超純氨等細(xì)分領(lǐng)域具有壟斷地位，正在從特氣向電子大宗氣體（如氮?dú)狻⒀鯕猬F(xiàn)場(chǎng)制氣）全面進(jìn)攻。

強(qiáng)大的并購(gòu)整合與客戶服務(wù)能力。不僅賣氣，還提供氣體運(yùn)維服務(wù)。近年來通過收購(gòu)整合，成功進(jìn)入北方集成電路、芯粵能等大客戶的大宗氣供應(yīng)體系。打通了特氣和大宗氣的界限，具備與外資巨頭全面競(jìng)爭(zhēng)的綜合服務(wù)能力。

04電子大宗氣體破局者與區(qū)域霸主

7. 廣鋼氣體 （688548）：國(guó)內(nèi)電子大宗氣體（電子級(jí)氮?dú)狻⒀鯕獾龋┑钠凭终撸蚱屏值隆⒎ㄒ嚎铡⒖諝饣ぁ叭揞^”壟斷。主要產(chǎn)品為高純氮?dú)猓╬pb級(jí)）、氦氣。

中國(guó)集成電路新建現(xiàn)場(chǎng)制氣項(xiàng)目中，廣鋼中標(biāo)產(chǎn)能占比從25%上升至41%，而三大外資合計(jì)從68%降至31%。擁有長(zhǎng)達(dá)20年的氦氣全球采購(gòu)協(xié)議（氦氣是戰(zhàn)略稀缺資源），保障了氣源安全。自研的“Super-N”制氮技術(shù)已達(dá)國(guó)際水平。是典型的“基礎(chǔ)設(shè)施”型公司，現(xiàn)金流極其穩(wěn)定，是晶圓廠的“生命線”工程。

8. 僑源股份 （301286）：西南地區(qū)（川渝）工業(yè)氣體龍頭，液態(tài)氣體產(chǎn)能位居西部第一。主要產(chǎn)品為高純液氧、高純液氮、高純液氬。川渝地區(qū)零售市場(chǎng)絕對(duì)龍頭，覆蓋寧德時(shí)代、通威股份等新能源巨頭。

區(qū)位優(yōu)勢(shì)與低成本電力。利用四川豐富的水電資源，空分能耗極低，成本優(yōu)勢(shì)顯著。正在從基礎(chǔ)大宗向電子級(jí)、醫(yī)用級(jí)特種氣升級(jí)。在西南新能源產(chǎn)業(yè)鏈中擁有極高的市占率，客戶粘性極高，是區(qū)域壟斷的典型代表。

9. 和遠(yuǎn)氣體 （002971）：華中地區(qū)工業(yè)氣體龍頭，正在向電子特氣與硅基材料轉(zhuǎn)型。拳頭產(chǎn)品為工業(yè)氨、氫氣、電子級(jí)硅烷（在建/規(guī)劃中）。湖北地區(qū)最大的民用及工業(yè)氣體供應(yīng)商，液化氣市場(chǎng)占有率第一。

與傳統(tǒng)的氟碳類特氣不同，和遠(yuǎn)重點(diǎn)布局硅烷、氯化氫等電子級(jí)化學(xué)品，切入光伏和半導(dǎo)體外延工藝。依托原有的危化品物流和分銷網(wǎng)絡(luò)，轉(zhuǎn)型特氣具有渠道優(yōu)勢(shì)。

10. 凱美特氣 （002549）：尾氣回收再利用的環(huán)保+特氣模式，食品級(jí)二氧化碳龍頭。拳頭產(chǎn)品為食品級(jí)二氧化碳（可口可樂、百事可樂供應(yīng)商）、氪氣、氙氣、氖氣（稀有氣體）。國(guó)內(nèi)食品級(jí)二氧化碳龍頭，電子級(jí)稀有氣體已進(jìn)入國(guó)內(nèi)頭部芯片廠商供應(yīng)鏈。

核心優(yōu)勢(shì)在于其低成本氣源+稀有氣體提純技術(shù)。利用石化、煤化工尾氣提純，成本極低；同時(shí)是氖、氪、氙等戰(zhàn)略稀有氣體的重要供應(yīng)商，受益于半導(dǎo)體激光和存儲(chǔ)芯片擴(kuò)產(chǎn)。環(huán)保屬性賦予其獨(dú)特的成本護(hù)城河。

05氟化工延伸與化學(xué)平臺(tái)型

11. 雅克科技 （002409）：前驅(qū)體與電子特氣雙輪驅(qū)動(dòng)，通過并購(gòu)轉(zhuǎn)型為半導(dǎo)體材料平臺(tái)。拳頭產(chǎn)品為六氟化鎢、硅前驅(qū)體、光刻膠配套試劑。是全球領(lǐng)先的前驅(qū)體供應(yīng)商，特氣業(yè)務(wù)（科美特）是國(guó)內(nèi)六氟化鎢主要供應(yīng)商之一。前驅(qū)體和特氣都賣給同一個(gè)晶圓廠，打包銷售能力強(qiáng)，技術(shù)壁壘高。

12. 三孚股份 （603938）：硅基材料+氯硅烷特氣。拳頭產(chǎn)品為電子級(jí)二氯二氫硅（DCS）、電子級(jí)三氯氫硅（TCS）、電子級(jí)四氯化硅。是國(guó)內(nèi)硅基電子特氣的重要新進(jìn)入者，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體外延和沉積工藝。核心優(yōu)勢(shì)在于其原材料一體化。擁有氫氰酸、氯堿等基礎(chǔ)化工配套，成本控制能力強(qiáng)。

13. 巨化股份 （600160）：中國(guó)氟化工龍頭，電子特氣（尤其是蝕刻氣體）的潛在巨無霸。拳頭產(chǎn)品為三氟化氮、六氟化鎢（通過下屬子公司浙江博瑞電子生產(chǎn)）。雖然主營(yíng)制冷劑，但其電子特氣板塊實(shí)力不容小覷，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能大規(guī)模生產(chǎn)高純含氟特氣的企業(yè)。

14. 多氟多 （002407）：六氟磷酸鋰+電子特氣。拳頭產(chǎn)品為電子級(jí)氫氟酸（用于晶圓清洗）、高純氟氣。市場(chǎng)地位：電子級(jí)氫氟酸已進(jìn)入德州儀器、臺(tái)積電、三星等高端客戶，是國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域的絕對(duì)龍頭之一。核心優(yōu)勢(shì)在于其氟化工技術(shù)同源，將新能源電池材料的高純度技術(shù)移植于半導(dǎo)體材料。

15. 正帆科技 （688596）：電子工藝系統(tǒng)（廠務(wù)+設(shè)備）+電子材料。拳頭產(chǎn)品為高純氣體輸送系統(tǒng)、電子特氣（自產(chǎn)自用）。服務(wù)于半導(dǎo)體、光伏行業(yè)的廠務(wù)系統(tǒng)，同時(shí)向下游客戶銷售自產(chǎn)的電子特氣（如磷烷）。核心優(yōu)勢(shì)在于其系統(tǒng)+材料的模式。通過高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)鎖定客戶，再通過CAPEX（設(shè)備）撬動(dòng)OPEX（氣體耗材）。

06總結(jié)

目前，我國(guó)氦氣對(duì)外依存度長(zhǎng)期超過95%，主要進(jìn)口來源為卡塔爾、美國(guó)等。氦氣是天然氣液化過程中的伴生副產(chǎn)品，無法通過人工合成方式生產(chǎn)。高端金屬材料受制于人，在6N以上的鎢、鉬、釕、鉭等核心高純金屬材料供應(yīng)方面，仍受制于日美等企業(yè)，高端技術(shù)與裝備受出口管制。

2026年3月卡塔爾LNG設(shè)施遭襲，導(dǎo)致氦氣供應(yīng)可能面臨3-5年的長(zhǎng)期剛性缺口、2026年1月中國(guó)加強(qiáng)對(duì)日鎢出口管制后，日本全球占比近30%的六氟化鎢產(chǎn)能面臨原料斷供風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，國(guó)際巨頭封鎖，在專利、標(biāo)準(zhǔn)、工藝對(duì)我國(guó)電子特氣發(fā)展展開三重圍堵，以林德、液化空氣、空氣化工、大陽(yáng)日酸為代表的四大國(guó)際巨頭最為典型。

在此背景下，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速。2026年1月中國(guó)對(duì)日出口管制及反傾銷調(diào)查，使海外供應(yīng)鏈斷供風(fēng)險(xiǎn)成為下游廠商必須對(duì)沖的核心變量，同時(shí)本土供應(yīng)商驗(yàn)證進(jìn)度有望加快，國(guó)產(chǎn)化率預(yù)計(jì)將持續(xù)提升，國(guó)內(nèi)企業(yè)已從"0到1"的技術(shù)突破，進(jìn)入"1到N"的大規(guī)模替代和全鏈條追趕階段。

國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部等部門相繼出臺(tái)一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，國(guó)資委也將電子特氣列為關(guān)鍵性電子材料重點(diǎn)扶持。國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)紛紛加大研發(fā)投入，不斷突破技術(shù)難關(guān)，逐步實(shí)現(xiàn)電子特氣產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代。