2020年網(wǎng)友透露的光刻機(jī)消息已有部分被證實(shí)！美國(guó)的限制終將失敗

今年4月華為P70正式搭載麒麟9010上市銷售，7月份，華為銷售門店接到通知，可以談?wù)撌謾C(jī)搭載的SOC型號(hào)，說(shuō)明華為已經(jīng)有把握在極限施壓的情況下繼續(xù)生產(chǎn)各式處理器。有博主拆解麒麟9010之后發(fā)現(xiàn)，它的光刻工藝環(huán)節(jié)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志與眾不同，基本可以確定不是進(jìn)口產(chǎn)品，最有可能是國(guó)產(chǎn)型號(hào)。然而，某些政客至今仍不死心，仍然以為我國(guó)無(wú)法自行生產(chǎn)DUVi設(shè)備。

彭博社當(dāng)?shù)貢r(shí)間8月29日?qǐng)?bào)道：荷蘭政府可能不會(huì)續(xù)簽允許該國(guó)光刻機(jī)巨頭阿斯麥公司(ASML)向中國(guó)提供設(shè)備維修服務(wù)的許可，該許可于2024年底到期。報(bào)道談到荷蘭方面的決定是在美國(guó)施壓的情況下作出的。

那么此舉會(huì)給中國(guó)帶來(lái)什么影響呢？

基本等同于自掘墳?zāi)?！真以為我?guó)搞不定高端光刻機(jī)？

2020年，有網(wǎng)友透露了我國(guó)光刻機(jī)研制進(jìn)展情況。當(dāng)年網(wǎng)友透露的消息我們無(wú)法證實(shí)，但現(xiàn)在回過(guò)頭來(lái)看，其中不少信息已經(jīng)得到官方證實(shí)！

本文在不泄密前提下，根據(jù)國(guó)內(nèi)官方網(wǎng)站公開(kāi)的信息合理分析。

文中提到的能用于量產(chǎn)11納米制程工藝的光刻機(jī)是什么意思呢？

參考光刻機(jī)行業(yè)領(lǐng)先者ASML公布的參數(shù)可知其套刻精度達(dá)到3納米以內(nèi)，曝光分辨率40納米以內(nèi)（通常是38～41納米之間）。

那么我國(guó)深紫外浸沒(méi)式光刻機(jī)又是什么水平呢？

先來(lái)看看國(guó)內(nèi)某官網(wǎng)公布的SSA800-10W光刻機(jī)的參數(shù)：套刻精度2.5納米，曝光分辨率38～41納米，滿足28納米工藝需求。

由此可見(jiàn)，國(guó)產(chǎn)SSA800-10W光刻機(jī)就已經(jīng)能夠滿足11納米以下制程工藝量產(chǎn)要求。

在此要強(qiáng)調(diào)一點(diǎn)，我國(guó)在2021年就已經(jīng)造出SSA800-10W。

2022年3月18日，中科院微電子研究官方網(wǎng)站發(fā)布了《2021年年鑒》，文中提到：完成28nm浸沒(méi)光刻機(jī)曝光光源10mJ@4KHz工程樣機(jī)交付整機(jī)使用及15mJ@6KHz原理樣機(jī)研制。

官方學(xué)術(shù)期刊《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2022年第五期論文《超精密高速激光干涉位移測(cè)量技術(shù)與儀器》提到：目前該系列儀器已成功應(yīng)用于我國(guó)350nm至28nm多個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)樣機(jī)集成研制和性能測(cè)。

文中明確提到了28納米工藝節(jié)點(diǎn)樣機(jī)，正好與上文提到的“滿足28納米工藝”相吻合。這說(shuō)明SSA800-10W就是所謂的“28納米光刻機(jī)”。然而這種28納米光刻機(jī)指的是單次曝光就能量產(chǎn)28納米制程工藝的光刻機(jī)，通過(guò)套刻工藝，它也可以用于量產(chǎn)11納米制程工藝，如果不介意良率和成本，做出7納米制程工藝也是可以的。

11納米工藝節(jié)點(diǎn)只是2021年我國(guó)的水平，現(xiàn)在水平只會(huì)更高。

從ASML的發(fā)展經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，最新款DUVi型號(hào)NXT：2100i與NXT:1980i主要區(qū)別就是雙工件臺(tái)套刻精度更高。

如果能夠提升雙工件臺(tái)的套刻精度，那就能提升DUVi的曝光分辨率，即可以支持更高端的制程工藝量產(chǎn)。剛好，從2023年官方發(fā)布的消息來(lái)看，我國(guó)的雙工件臺(tái)套刻精度至少達(dá)到NXT：2000i的水準(zhǔn)，而NXT：2000i就是一款能夠用于量產(chǎn)7納米甚至是5納米制程工藝的設(shè)備！

2023年，清華大學(xué)機(jī)械工程系本科生官方微信平臺(tái)機(jī)械之聲日前發(fā)文介紹了該系于2023面8月13日舉辦的《制造前沿講堂-集成電路》專場(chǎng)活動(dòng)，本期活動(dòng)邀請(qǐng)到清華機(jī)械工程系長(zhǎng)聘教授朱煜，就光刻機(jī)技術(shù)做專題講座。

根據(jù)朱煜教授介紹，我國(guó)多家研究所正在共同進(jìn)行DUV光刻機(jī)整機(jī)攻關(guān)和EUV光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)預(yù)研，清華大學(xué)團(tuán)隊(duì)目前正在承擔(dān)浸沒(méi)雙工件臺(tái)、平面光柵測(cè)量系統(tǒng)、EUV光刻機(jī)真空工作臺(tái)等的研發(fā)工作。
在活動(dòng)自由交流環(huán)節(jié)，有學(xué)生向朱煜提問(wèn)其課題組研發(fā)的工件臺(tái)和ASML公司差距。朱煜回應(yīng)稱:目前課題組研制的工件臺(tái)在大的代際上與ASML公司最先進(jìn)工件臺(tái)（NXT：2000系列以上產(chǎn)品）處于同一水平。但在小的代際上與ASML的2000系列以上產(chǎn)品（最新型號(hào)NXT：2100i）還存在一代的差距，再迭代一次后就可以追上國(guó)際先進(jìn)水平。

按照最保守推測(cè)，國(guó)產(chǎn)雙工件臺(tái)套刻精度達(dá)到2納米，樂(lè)觀估計(jì)達(dá)到1.5納米。

上文中清華大學(xué)官方網(wǎng)站的相關(guān)報(bào)道中明確提到了“DUV光刻機(jī)整機(jī)攻關(guān)”，結(jié)合朱煜教授提到的雙工件臺(tái)消息來(lái)看，這里的整機(jī)攻關(guān)應(yīng)該是指我國(guó)正在組織力量繼續(xù)提升DUVi整機(jī)分辨率，而不僅僅是造出整機(jī)！這或許就能解釋，為何麒麟9010處理器上面找不到進(jìn)口光刻機(jī)的套刻對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志，很可能是因?yàn)椴捎昧藝?guó)產(chǎn)型號(hào)。

報(bào)道也提到了“EUV光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)預(yù)研”，說(shuō)明當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)仍未完成EUV光刻機(jī)整機(jī)集成。

據(jù)了解，NXT：2000i就能支持5納米制程工藝量產(chǎn)，只是良率差點(diǎn)而已，而套刻精度更高的NXT：2050i則有助于提升良率，降低生產(chǎn)成本，理論上，不計(jì)成本的前提下，可用于量產(chǎn)3納米制程工藝。

綜上所述，合理推測(cè)，我國(guó)現(xiàn)在的DUVi設(shè)備水平至少達(dá)到NXT:2000i的水準(zhǔn)，足以量產(chǎn)5納米制程工藝，在此大膽預(yù)測(cè)，今年下一代麒麟9系列SOC采用的就是5納米制程工藝量產(chǎn)。

既然我國(guó)已經(jīng)能夠自主生產(chǎn)DUVi設(shè)備，那自然也有能力自行維護(hù)，這個(gè)時(shí)候還想威脅我國(guó)停止維修服務(wù)，那不就等于自掘墳?zāi)箚幔?strong>恐怕美國(guó)的限制會(huì)再次落空！

盡管國(guó)產(chǎn)DUVi設(shè)備已經(jīng)取得重大進(jìn)展，但現(xiàn)在仍不是揚(yáng)眉吐氣的時(shí)候。一方面，國(guó)產(chǎn)DUVi設(shè)備產(chǎn)量很可能仍然十分有限，導(dǎo)致我國(guó)仍需大量進(jìn)口DUVi，另一方面，國(guó)產(chǎn)EUV設(shè)備仍未得到官方證實(shí)已經(jīng)研制出來(lái)。未來(lái)我國(guó)仍需再接再厲，才能徹底打破半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)重依賴外國(guó)的不利局面。

聲明：本文觀點(diǎn)為個(gè)人觀點(diǎn)，不代表官方觀點(diǎn)，歡迎共同探討。