82歲尹志堯、78歲張汝京罕見(jiàn)同臺(tái)！聊國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體發(fā)展辛酸苦辣

芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
作者 劉煜
編輯 陳駿達(dá)

芯東西5月19日?qǐng)?bào)道，5月17日，央視頻放出了對(duì)“中國(guó)刻蝕機(jī)之父”、中微半導(dǎo)體設(shè)備公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯的采訪，“中國(guó)半導(dǎo)體教父”、中芯國(guó)際創(chuàng)始人、興華芯創(chuàng)始人張汝京也參與了這次對(duì)話。尹志堯在訪談中透露，中微公司的刻蝕設(shè)備已實(shí)現(xiàn)100pm（皮米級(jí)）加工精度，目前該公司的800多個(gè)反應(yīng)臺(tái)已進(jìn)入中國(guó)臺(tái)灣國(guó)際先進(jìn)生產(chǎn)線，覆蓋從45nm到3nm的制程節(jié)點(diǎn)。

此外，中微公司已成為臺(tái)積電先進(jìn)制程的刻蝕機(jī)裝備的設(shè)備供應(yīng)商。

▲尹志堯（圖左）張汝京（圖右）（圖源：央視頻）

訪談中，尹志堯稱，對(duì)于現(xiàn)在的半導(dǎo)體，他們能做到5nm到3nm區(qū)間的50-60層堆疊。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，他說(shuō)道：“集成電路是成千上萬(wàn)人的事業(yè)，不是靠幾個(gè)精英就可以搞起來(lái)的。”而關(guān)于中微公司領(lǐng)導(dǎo)層的接班人，他稱自己也有了一批人選。

在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，該公司從0開(kāi)始，兩年內(nèi)完成150噸重的大平板設(shè)備開(kāi)發(fā)，而按尹志堯做設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)，此前預(yù)估做成至少需要3-5年甚至7年的時(shí)間。

尹志堯不認(rèn)為中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備離世界水平很遠(yuǎn)，中國(guó)現(xiàn)在至少有300多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備公司。他分享道：“中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)，有很多已經(jīng)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，有部分產(chǎn)品甚至超過(guò)了國(guó)際先進(jìn)水平。”

談及國(guó)內(nèi)廠商選用國(guó)產(chǎn)設(shè)備一事，張汝京直言：“試新的設(shè)備一定會(huì)有風(fēng)險(xiǎn)，但最大的問(wèn)題，是使用者有沒(méi)有試用的決心。”

他補(bǔ)充道：“如果帶頭的領(lǐng)導(dǎo)覺(jué)得使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備太麻煩，這種心態(tài)一出來(lái)的話，他自己犯錯(cuò)很少，但是國(guó)家整體的進(jìn)步就大大的減慢。”

他還談及國(guó)內(nèi)企業(yè)常遭遇海外專利訴訟的困境，他稱，企業(yè)發(fā)展越出色，越容易引來(lái)無(wú)端打壓。不過(guò)，如今依托龐大的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，國(guó)外對(duì)于中國(guó)企業(yè)的干擾空間大幅縮減。張汝京說(shuō)道：“他來(lái)告我們專利的時(shí)候，最壞的情形，交叉授權(quán)也就解決了。”

采訪中，尹志堯希望國(guó)內(nèi)的客戶能給國(guó)內(nèi)設(shè)備制造公司更多的機(jī)會(huì)。他解釋道：“國(guó)外的設(shè)備最初進(jìn)入生產(chǎn)線時(shí)，最初兩年都是一塌糊涂。”這與國(guó)內(nèi)設(shè)備最初進(jìn)入生產(chǎn)線時(shí)面臨問(wèn)題的情況一樣。國(guó)外設(shè)備后續(xù)經(jīng)由臺(tái)積電、三星等企業(yè)實(shí)測(cè)打磨、優(yōu)化完善后，才會(huì)正式推向中國(guó)的市場(chǎng)。

談到為何回國(guó)發(fā)展，他稱，他給美國(guó)產(chǎn)業(yè)界做了不少貢獻(xiàn)，但畢竟是中國(guó)出生，祖上三代都從國(guó)外回來(lái)報(bào)效，所以他也要回國(guó)。

2003年他與張汝京在美國(guó)見(jiàn)面，張汝京高度支持他回國(guó)，直言：“只要你做出來(lái)，我一定試。”這種信任某種程度上基于他與尹志堯在泛林以及應(yīng)用材料的成功合作。

本次訪談的核心要點(diǎn)如下：

1、中微公司的絕招：首創(chuàng)甚高頻去耦合的反應(yīng)離子刻蝕、雙臺(tái)機(jī)等，2007年雙臺(tái)機(jī)的分別刻蝕速度就只差了0.1個(gè)nm。

2、尹志堯的愿景：尹志堯期望近期爭(zhēng)取把該公司產(chǎn)值做到700億人民幣，這一數(shù)字的概念就是全球設(shè)備五強(qiáng)。

3、數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的倒三角形金字塔：它分為上層建筑、電子系統(tǒng)、芯片的制造和設(shè)計(jì)以及半導(dǎo)體設(shè)備制造，是一個(gè)倒三角形，金字塔越往下走，做設(shè)備的難度就越高。

4、與美國(guó)設(shè)備公司的官司：美國(guó)設(shè)備公司不信中微公司能自己做出先進(jìn)的設(shè)備，一定是偷了原來(lái)公司的商業(yè)機(jī)密。4場(chǎng)官司中微公司打贏兩場(chǎng)，兩場(chǎng)打平。

5、大眾的誤區(qū)：許多人認(rèn)為美國(guó)政府限制美國(guó)的設(shè)備不能運(yùn)給中國(guó)，但是這些設(shè)備都是中國(guó)人做的，現(xiàn)在已經(jīng)有許多中國(guó)人回國(guó)發(fā)展，所以尹志堯?qū)χ袊?guó)設(shè)備制造公司趕超國(guó)外抱有信心。

6、撰寫了20000余字的領(lǐng)導(dǎo)能力心得：該心得的核心包括，價(jià)值觀與自驅(qū)力、三維戰(zhàn)略決策能力以及傳承與接班。中微已花數(shù)年時(shí)間寫了600頁(yè)的書，作為該公司運(yùn)營(yíng)的基本邏輯，確保接班人能夠做得更好。

7、公司發(fā)展的決定因素：10家公司中往往只有3、4家能成長(zhǎng)起來(lái)，決定因素是營(yíng)運(yùn)能力，營(yíng)運(yùn)能力強(qiáng)的公司一般就做大了。

8、中微公司的持股模式：中微公司內(nèi)部員工全部持股，只要是該公司的正式雇員，包括門口的接待人員、司機(jī)都有股票，而尹志堯僅持股0.7%。

以下是此次采訪的實(shí)錄：

一、設(shè)備精度達(dá)100pm，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)呈倒三角層級(jí)結(jié)構(gòu)

主持人：我看到這個(gè)天花板（中微公司臨港基地的天花板）都是線路板的一個(gè)形狀。這是您設(shè)計(jì)的嗎？

尹志堯：這是設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)的。

主持人：可能很多觀眾有疑問(wèn)，“刻蝕”跟我們平時(shí)熟悉的“光刻”，這兩個(gè)名詞之間到底有什么區(qū)別？

尹志堯：這個(gè)我可以解釋一下，我用木刻來(lái)做比方。木刻也有個(gè)“刻”字，它先得有一個(gè)硬木板，然后師傅在上面畫上畫，再用刻刀把不要的東西刻掉。這個(gè)三步驟就是我們做集成電路的三個(gè)步驟。

集成電路就像蓋樓房，薄膜就是用各種各樣辦法，包括物理化學(xué)的辦法、電鍍的辦法鋪一層膜，有一百多種不同的膜，這就像做木刻需要有的木板。

接著在光刻機(jī)上面甩上光刻膠，用投影的辦法曝光以后，就像木刻的師傅在木板上畫出各種花紋一樣。等離子刻蝕機(jī)用離子刻刀，按照花紋刻下去，刻出各種各樣的形狀，這就是我們做的一層。

主持人：您這個(gè)就是刻蝕機(jī)嗎？

尹志堯：對(duì)，刻蝕機(jī)里面有兩類。一類叫ICP，是低能等離子刻蝕機(jī)，另外一類叫CCP，是高能等離子刻蝕機(jī)。刻蝕機(jī)的特點(diǎn)是，兩大類設(shè)備可以覆蓋300到400種不同的刻蝕應(yīng)用。這個(gè)是個(gè)縮小的模型。

▲縮小的等離子刻蝕機(jī)圖片（圖源：央視頻）

主持人：我聽(tīng)說(shuō)我們的設(shè)備已經(jīng)能夠精確到100pm了。

尹志堯：對(duì)，可以加工精度到100pm。

主持人：加工精度到100pm，和我們所說(shuō)的芯片的制程，包括5nm、7nm之間有什么樣的關(guān)系。

尹志堯：那已經(jīng)沒(méi)有阻礙了，我可以一直加工下去。我再解釋一下，其實(shí)5nm、3nm、2nm是一個(gè)虛擬概念，它并不是真正gate的長(zhǎng)度，即門電路的長(zhǎng)度。門電路的長(zhǎng)度如果做到14個(gè)nm以下，它的計(jì)算方法就不一樣了。

原來(lái)的門是平放（平行于地面）的，擠在一塊發(fā)現(xiàn)不行了，我們就把它們立起來(lái)放，一直摞起來(lái)做。

主持人：您這寫一根頭發(fā)的直徑是70μm，一顆芯片元器件是5nm。這上面是有一個(gè)頭發(fā)的一個(gè)（標(biāo)本）。

尹志堯：這是一個(gè)虛擬的顯示。你可以從放大鏡看到，它目前是一個(gè)真正的芯片。我接著旋轉(zhuǎn)這個(gè)旋鈕，它就慢慢放大了，可以放到到100倍，芯片變這樣了，再放到了1萬(wàn)倍，芯片又變成這樣了。最后我們放大到1億倍以上，就看到5nm。

主持人：1億倍。

尹志堯：對(duì)，所以我們現(xiàn)在就是在一根頭發(fā)絲的1/10000到1/100000這樣的小的結(jié)構(gòu)上，要蓋一個(gè)五六十層的樓房。其中，這上面的十七八層就像高速立交，是一個(gè)跨過(guò)一個(gè)的結(jié)構(gòu)。

主持人：現(xiàn)在最高能蓋到多少層？

尹志堯：現(xiàn)在就是5nm到3nm區(qū)間，大概五六十層結(jié)構(gòu)。在memory（存儲(chǔ)芯片）上走的更遠(yuǎn)，比如說(shuō)現(xiàn)在的flash memory（閃存芯片），它們已經(jīng)大規(guī)模生產(chǎn)很多年，都是200多層，目前已經(jīng)進(jìn)入300多層，將來(lái)要做到500層到1000層的結(jié)構(gòu)。

中微電子等離子刻蝕機(jī)現(xiàn)在有將近21個(gè)不同的類型。我們隨著芯片技術(shù)的發(fā)展，升級(jí)我們的技術(shù)和產(chǎn)品。芯片技術(shù)發(fā)展的時(shí)候會(huì)不斷地加入更多的新材料，而且會(huì)做雕鉆等各種不同的復(fù)雜情況。所以我們的工作永遠(yuǎn)沒(méi)有盡頭，要一直往前走。

主持人：我記得在今年年初的時(shí)候，福布斯給您評(píng)了兩個(gè)獎(jiǎng)，一個(gè)是終身成就獎(jiǎng)，一個(gè)是最佳CEO。有人說(shuō)您是“中國(guó)刻蝕機(jī)之父”，“等離子刻蝕機(jī)的最強(qiáng)大腦”。讓您給自己做一個(gè)定位的話，您更愿意怎么來(lái)描述？

尹志堯：我覺(jué)得最好就說(shuō)我是一個(gè)工程師，我最喜歡的物理化學(xué)已經(jīng)搞了62年了，我喜歡搞反應(yīng)器。集成電路是成千上萬(wàn)人的事業(yè)，不是靠幾個(gè)精英就可以搞起來(lái)的。這個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈很長(zhǎng)，包括零部件到設(shè)備，到芯片設(shè)計(jì)制造，最后到電子系統(tǒng)，到最終的終端應(yīng)用。

所以不應(yīng)該這里面來(lái)強(qiáng)調(diào)個(gè)人的作用，最好的名字就是工程師。

主持人：那么我們站在一個(gè)工程師的角度，想請(qǐng)教您，中國(guó)的大模型數(shù)量占到全球的大約40%，排在全球第一位。但是我們不愿意看到的是，我們的半導(dǎo)體制造的設(shè)備，比如說(shuō)光刻機(jī)，或者其他的一些細(xì)分領(lǐng)域，我們并沒(méi)有在全球領(lǐng)先，您覺(jué)得這個(gè)主要原因究竟是什么？

尹志堯：我倒不承認(rèn)中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備離世界水平很遠(yuǎn)，其實(shí)中國(guó)現(xiàn)在已經(jīng)至少有300多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備公司，覆蓋了100%的各種各樣的設(shè)備，細(xì)分設(shè)備。我們（的設(shè)備）在國(guó)際上最強(qiáng)大的國(guó)家也覆蓋了50%。

所以應(yīng)該說(shuō)，中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)，特別是最近20年發(fā)展的非常的快，有很多已經(jīng)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

有部分產(chǎn)品甚至超過(guò)了國(guó)際先進(jìn)水平，當(dāng)然我們?cè)诠饪虣C(jī)和一些最難做的設(shè)備上還有一定差距，但我相信很快的就會(huì)改變這個(gè)狀態(tài)然后趕上去。

再?gòu)牧硗庖粋€(gè)角度回答你問(wèn)題。傳統(tǒng)工業(yè)是以機(jī)器代替人手，是一個(gè)以宏觀加工為核心的傳統(tǒng)工業(yè)。而數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是以微觀加工為核心的一個(gè)微器件工業(yè)，它的特點(diǎn)就是越做越小，而前一個(gè)工業(yè)（傳統(tǒng)工業(yè)）是越做越大。

最近的數(shù)據(jù)表明，在國(guó)際整個(gè)企業(yè)總產(chǎn)值里面，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)超過(guò)40%，另外的50%多就是傳統(tǒng)工業(yè)的產(chǎn)物。我相信數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的發(fā)展速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)傳統(tǒng)工業(yè)，所以再過(guò)10年左右，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)會(huì)超過(guò)50%。

數(shù)碼產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，明顯的分成四個(gè)層次，它是一個(gè)倒置的三角形。

它的最上面一層叫上層建筑，也就是各種各樣的應(yīng)用，包括軟件、網(wǎng)絡(luò)、電商、傳媒、大數(shù)據(jù)、AI、VR、元宇宙、ChatGPT、DeepSeek都算在內(nèi)。

下面一層就是電子設(shè)備，小到一個(gè)電子玩具，大到全球聯(lián)網(wǎng)的計(jì)算機(jī)、手機(jī)和電腦，都屬于電子系統(tǒng)。

電子系統(tǒng)屬于芯片的制造和設(shè)計(jì)領(lǐng)域，而芯片制造設(shè)計(jì)又基于半導(dǎo)體設(shè)備的能力，所以每年1000億美金的設(shè)備銷售，支撐了1萬(wàn)億（美金）的芯片的設(shè)計(jì)制造，支撐了4萬(wàn)億左右的電子系統(tǒng)，支撐了20萬(wàn)億以上美金的各種各樣的應(yīng)用。

金字塔越往下走，我們做設(shè)備的難度就越高。比如說(shuō)，國(guó)內(nèi)大概有幾千個(gè)設(shè)計(jì)公司都可以設(shè)計(jì)芯片，但是能做出14nm、28nm的設(shè)備公司，也就是幾十個(gè)，能做到3nm、5nm的這種設(shè)備公司更是鳳毛麟角。

因?yàn)檫@個(gè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)需要50個(gè)學(xué)科兵種的綜合作戰(zhàn)才能做起來(lái)，所以需要的研發(fā)時(shí)間很長(zhǎng)，需要幾百億、上千億的投入才能做起來(lái)。這就是為什么我們國(guó)家還需要一定時(shí)間，讓這個(gè)設(shè)備的產(chǎn)業(yè)能走到世界前沿去。

二、前瞻布局三維存儲(chǔ)，打入臺(tái)積電先進(jìn)產(chǎn)線

主持人：2004年，您在60歲的時(shí)候回到中國(guó)創(chuàng)業(yè)。那個(gè)時(shí)候國(guó)家級(jí)集成電路重大項(xiàng)目也啟動(dòng)了，主攻我們集成電路整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈當(dāng)中的很多的領(lǐng)域。有一個(gè)人一直陪伴著您成長(zhǎng)，我們來(lái)聽(tīng)一聽(tīng)您給他留下了什么樣的印象。（接下來(lái)播放VCR，講話的人為中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)集成電路分會(huì)理事長(zhǎng)葉甜春。）

葉甜春：我記得他（尹志堯）04年創(chuàng)立（公司）的那段時(shí)間，他給我們講完他的研究，我眼睛一亮。當(dāng)時(shí)我就說(shuō)，那后續(xù)我能不能讓其他企業(yè)來(lái)向你們學(xué)習(xí)？他說(shuō)沒(méi)有問(wèn)題。他沒(méi)有把這些企業(yè)當(dāng)做競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，而是很開(kāi)放的告訴他們中微的好的一些理念。

其實(shí)他本身一直具有一種前瞻性。國(guó)家還沒(méi)有開(kāi)始考慮做三維存儲(chǔ)的時(shí)候，他就說(shuō)他的刻蝕機(jī)將來(lái)做深孔刻蝕、深槽刻蝕時(shí)，在未來(lái)的三維存儲(chǔ)領(lǐng)域里面一定是有用處的。我對(duì)他說(shuō)：“那你能不能自己先開(kāi)始做一些研發(fā)。”

我們自己的三維存儲(chǔ)剛剛開(kāi)始做相應(yīng)的研發(fā)時(shí)，就用上了自己的裝備。尹總這種行業(yè)預(yù)見(jiàn)性，還是很令人欽佩的。（VCR結(jié)束）

尹志堯：說(shuō)老實(shí)話，有前瞻性的不是我們搞設(shè)備的人，是搞芯片器件的人，我們是跟著他們跑的。但是我們必須要及時(shí)開(kāi)發(fā)出設(shè)備，在他們（做芯片器件的人）比如說(shuō)進(jìn)入這個(gè)5nm之前，我就得有5nm刻蝕機(jī)，一般都要提前好幾年。

朱民：我也講一個(gè)細(xì)節(jié)，我經(jīng)歷了中微發(fā)展的階段的三屆董事會(huì)。尹總在所有董事會(huì)上吹過(guò)的牛都實(shí)現(xiàn)了，這是我擔(dān)任三屆董事以來(lái)，最強(qiáng)的體會(huì)。尹總的確是很有前瞻性的視野。

尹志堯：對(duì)不起啊，我從來(lái)不吹牛哈哈，我講的話都是留有余地的。所以我們才能完成（這些目標(biāo)）。

朱民：因?yàn)楫?dāng)時(shí)我們看的維度，覺(jué)得好像跟企業(yè)發(fā)展（不一致）。我們會(huì)上可能投了贊成票，但底下還是是會(huì)揣測(cè)為什么尹總會(huì)做出這樣的決策。的確有超前很多的布局。

主持人：最近尹總有什么樣的愿景？

朱民：最近尹總給我的一個(gè)非常大的信心是，要在近期內(nèi)爭(zhēng)取把產(chǎn)值做到700億人民幣。這個(gè)700億人民幣的概念就是全球設(shè)備五強(qiáng)。

這個(gè)我們?cè)?004年組建，包括到2018年上市，我們根本沒(méi)想過(guò)，可能也沒(méi)敢想。但是尹總給了我們董事會(huì)、給了我們股東最大的信心。

尹志堯：這是希望達(dá)到，光靠我們一個(gè)中微不可能解決中國(guó)所有的問(wèn)題。必須有眾多的半導(dǎo)體設(shè)備公司，這叫“八仙過(guò)海，各顯其能”。我們應(yīng)該是樂(lè)觀其成，并希望有競(jìng)爭(zhēng)。

在前20年，可以不客氣地說(shuō)，我們是走在前列技術(shù)上和產(chǎn)品上。但是現(xiàn)在這個(gè)20年，再不要以為自己是領(lǐng)先的，有很多后起之秀的設(shè)備公司做的比我們速度快，甚至有的設(shè)備比我們做的還好。所以我們必須要振作起來(lái)，繼續(xù)的努力，這個(gè)路是永遠(yuǎn)要往前走的。

陸雄文（復(fù)旦大學(xué)管理學(xué)院黨委書記、教授）：所以在這種情況下，一個(gè)企業(yè)說(shuō)我要做百年老店，永遠(yuǎn)在科技領(lǐng)先，這其實(shí)是非常難的。但是我要跟尹總講，也不一定要做百年。你把這未來(lái)二三十年做好，不管是技術(shù)的財(cái)富還是物質(zhì)財(cái)富也留在這社會(huì)上了，你已經(jīng)做了很偉大的貢獻(xiàn)了。

我覺(jué)得尹總還有一種情懷，我覺(jué)得是非常好的。因?yàn)檫@不僅對(duì)這家公司（中微公司）的企業(yè)場(chǎng)景有幫助，對(duì)本人的長(zhǎng)壽也有幫助。企業(yè)家需要激情，才能變得更有競(jìng)爭(zhēng)力，變得更有戰(zhàn)斗力。

尹志堯：院長(zhǎng)說(shuō)的非常對(duì)。請(qǐng)不要誤解，我很少說(shuō)要把中微做成百年老店。我真正講的是十年以后做多大，現(xiàn)在有非常明確的目標(biāo)。至于20年以后，現(xiàn)在很難計(jì)劃，我現(xiàn)在只能看到十年。

主持人：（中微）繼續(xù)往前走（發(fā)展）的過(guò)程中，中微已成為臺(tái)積電先進(jìn)制程的刻蝕機(jī)裝備的設(shè)備供應(yīng)商。我們知道刻蝕機(jī)換供應(yīng)商其實(shí)挺難的，之前一直是泛林和應(yīng)用材料（等公司）所壟斷的。為什么您能從強(qiáng)者當(dāng)中撕開(kāi)一個(gè)口子闖進(jìn)去？

尹志堯：也是因?yàn)槲覀冋娴氖窍氤鲆恍┙^招，就是國(guó)際上沒(méi)用過(guò)的東西。

比如說(shuō)我們用的甚高頻去耦合的反應(yīng)離子刻蝕，這個(gè)技術(shù)是我們首先提出來(lái)的。后來(lái)，三年之后，國(guó)際上三大設(shè)備公司都是按照我們的方向做。現(xiàn)在100%的CCP都是用這個(gè)方法做的，所以我們是首創(chuàng)，而且雙臺(tái)機(jī)也是我們的首創(chuàng)。

雙臺(tái)機(jī)可以單臺(tái)操作，左邊刻一片，右邊刻一片，或者同時(shí)刻蝕都可以。讓我永遠(yuǎn)忘不了的是，第一次第一片硅片放在兩個(gè)臺(tái)里，這邊放一臺(tái)，那邊放一臺(tái)，分別刻蝕的速度就差了0.1個(gè)nm。這是2007年就達(dá)到了。

首先是中芯國(guó)際，張汝京博士帶頭吃螃蟹，結(jié)果我們就試成了。

后來(lái)我們就有信心進(jìn)入了中國(guó)臺(tái)灣市場(chǎng)。因?yàn)槲覀冇须p臺(tái)機(jī)的這個(gè)設(shè)計(jì)，本質(zhì)上在材料方面，就能節(jié)省30%甚至更多。所以我們的售價(jià)要比國(guó)際供應(yīng)商要低，而且低的很多，同時(shí)（我們的設(shè)備）性能又好又穩(wěn)定。這就是為什么國(guó)際一流的工業(yè)廠商愿意用我們的設(shè)備。

在中國(guó)臺(tái)灣的國(guó)際最先進(jìn)的生產(chǎn)線上，目前已經(jīng)有我們的800多個(gè)反應(yīng)臺(tái)，從45nm到3nm，都使用我們的機(jī)器。

三、張汝京鼎力支持尹志堯回國(guó)，未來(lái)10-20年超過(guò)國(guó)際最先進(jìn)水平完全可能

主持人：聽(tīng)說(shuō)在2003年的時(shí)候，您二位（張汝京與尹志堯）在美國(guó)見(jiàn)了一面。當(dāng)時(shí)尹總問(wèn)您說(shuō)我回國(guó)您支持嗎？

張汝京：全力支持。當(dāng)時(shí)尹總是需要客戶，我們就可以做一個(gè)客戶，他也需要客戶的回饋，我們很愿意來(lái)認(rèn)證這個(gè)設(shè)備，這是我們可以做得到的。

尹志堯：張董應(yīng)該是中國(guó)集成電路的第一號(hào)領(lǐng)軍人物。張博士當(dāng)時(shí)就決定說(shuō)，只要你做出來(lái)，我一定試。

當(dāng)時(shí)我們還沒(méi)有說(shuō)這個(gè)設(shè)備要做到1、2、3、4、5什么程度、討價(jià)還價(jià)怎么試，就說(shuō)我只要做了設(shè)備，他就試。這給我很大的信心。

主持人：張博士，為什么那個(gè)時(shí)候設(shè)備都沒(méi)有，甚至可能連圖紙都沒(méi)有，您就覺(jué)得說(shuō)他能做出來(lái)“我愿意試”。

張汝京：早期尹總在泛林工作的時(shí)候，我們德州儀器就用了泛林的刻蝕機(jī)。后來(lái)尹總調(diào)到Applied（應(yīng)用材料公司）去了，我們向Applied買的設(shè)備也非常的多。這兩次的（合作）經(jīng)驗(yàn)我們很有信心，你（尹志堯）第三次會(huì)做的更好。

主持人：在用全新的技術(shù)產(chǎn)品的時(shí)候，可能是承擔(dān)一定風(fēng)險(xiǎn)的。

張汝京：試新的設(shè)備一定會(huì)有風(fēng)險(xiǎn)。但是我們?cè)嚨臅r(shí)候，不會(huì)一下子貿(mào)然的試很多。（我們）是小批量的（試）。譬如先試5片，5片不錯(cuò)了再試25片，再做50片、100片這樣子，而且時(shí)間要蠻長(zhǎng)的，這個(gè)雙方都要負(fù)責(zé)。

譬如說(shuō)我們用中微設(shè)備的話，設(shè)備給我們的時(shí)候，我們并沒(méi)有付錢，這中微要（負(fù)責(zé)的），前面的投資都是它的。但是后面測(cè)試的時(shí)候，那個(gè)芯片就是我們自己要負(fù)責(zé)，而且這個(gè)時(shí)間的成本也是我們要負(fù)責(zé)的。大家配合很好以后成功了，這個(gè)投資絕對(duì)劃得來(lái)。

如果我們國(guó)內(nèi)大家也抱著這種心態(tài)，我們愛(ài)用國(guó)貨，如果沒(méi)有人使用，怎么會(huì)進(jìn)步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改的。也不要覺(jué)得說(shuō)試過(guò)一次不好不用了，（要）給它機(jī)會(huì)。我們?cè)?jīng)給了一家供應(yīng)商4次機(jī)會(huì)，（花了）前后差不多一年的時(shí)間，它改好了，現(xiàn)在大量可以用。

成本，其實(shí)在試用的時(shí)候沒(méi)有什么太多的成本。最大的問(wèn)題，是使用者有沒(méi)有這樣子的決心，（是）心態(tài)問(wèn)題。如果帶頭的領(lǐng)導(dǎo)，他覺(jué)得他如果用國(guó)產(chǎn)的設(shè)備太麻煩，有風(fēng)險(xiǎn)，如果出了錯(cuò)他要負(fù)責(zé)任，那不要（用國(guó)產(chǎn)），他就買國(guó)外的已經(jīng)驗(yàn)證過(guò)的設(shè)備。

這種心態(tài)一出來(lái)的話，他自己犯錯(cuò)很少，但是國(guó)家整體的進(jìn)步就大大的減慢。

尹志堯：其實(shí)我覺(jué)得國(guó)內(nèi)大部分的客戶都愿意用國(guó)產(chǎn)設(shè)備。但是（他們）有一個(gè)思想上的一個(gè)障礙，就是實(shí)際的數(shù)據(jù)證明，國(guó)外的這個(gè)領(lǐng)先設(shè)備進(jìn)來(lái)（中國(guó)）以后，一進(jìn)生產(chǎn)線問(wèn)題很少，很快就核準(zhǔn)。可是國(guó)內(nèi)的設(shè)備一進(jìn)生產(chǎn)線開(kāi)始總有很多問(wèn)題，所以他們要花很多時(shí)間把這問(wèn)題解決了。

所以還是有一種先入為主的概念：國(guó)外的設(shè)備比較好，國(guó)內(nèi)設(shè)備有很多問(wèn)題。

但是請(qǐng)大家注意，我在美國(guó)做了20年，那時(shí)我們每一個(gè)新設(shè)備進(jìn)入最先進(jìn)（的企業(yè)），像臺(tái)積電、三星，開(kāi)始兩年都是一塌糊涂，過(guò)了兩三年以后，那些領(lǐng)先的公司已經(jīng)幫助我們把設(shè)備弄好了，也提了很多意見(jiàn)，我們都做好了，才把這個(gè)設(shè)備拿到中國(guó)來(lái)。

那時(shí)候已經(jīng)經(jīng)過(guò)兩三年的歷練了，所以你（國(guó)內(nèi)客戶）拿來(lái)的時(shí)候肯定是好的。但是國(guó)產(chǎn)設(shè)備最開(kāi)始一下就進(jìn)入國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線，他也同樣會(huì)存在問(wèn)題，并不是說(shuō)國(guó)內(nèi)設(shè)備真的就做的不好，是因?yàn)檫@個(gè)環(huán)境不一樣。所以我希望國(guó)內(nèi)的客戶給（國(guó)內(nèi)）設(shè)備公司更多的機(jī)會(huì)。

主持人：從最開(kāi)始，我們從零起步，做了很多半導(dǎo)體的設(shè)備。葉甜春所長(zhǎng)也講了他眼中的國(guó)產(chǎn)替代和原始創(chuàng)新的關(guān)系。我們來(lái)聽(tīng)一聽(tīng)葉所長(zhǎng)是怎么說(shuō)的。（接著播放VCR）

葉甜春：中國(guó)集成電路發(fā)展到現(xiàn)在為止，以替代為主的自主可控的任務(wù)，我覺(jué)大部分已經(jīng)完成了。

我們下一階段做的，更重要的不是追趕，而要考慮開(kāi)辟第二戰(zhàn)場(chǎng)，開(kāi)辟第二條主賽道。

原來(lái)的說(shuō)追趕和替代，它是從最基礎(chǔ)的裝備材料開(kāi)始。我從無(wú)到有，我要建立體系，工業(yè)體系要有，我把我的制造工藝推得更好，制造工藝起來(lái)之后，我把我的產(chǎn)品設(shè)計(jì)支撐的更好。

現(xiàn)在要倒過(guò)來(lái)，從應(yīng)用端開(kāi)始遷移我整個(gè)的產(chǎn)業(yè)體系的一個(gè)創(chuàng)新。而在這里面，裝備企業(yè)是極其關(guān)鍵的。

尹志堯：他講的很對(duì)，前20年基本上是追趕。我覺(jué)得從現(xiàn)在開(kāi)始，我們最主要的任務(wù)是，以后的10年到20年要超過(guò)國(guó)際最先進(jìn)水平，這是完全可能的事情。

其實(shí)中微現(xiàn)在最近一年就開(kāi)發(fā)20多種設(shè)備，大概幾乎絕大部分的設(shè)備的設(shè)計(jì)都是采用最新的概念，而且做出的結(jié)果都至少和它（國(guó)際）一樣，或者在很多地方比它好。

我想國(guó)內(nèi)其他的設(shè)備公司學(xué)了20年以后，也就都懷揣絕技了，以后做的東西都會(huì)做得好。

再講另外一個(gè)情況，我在美國(guó)的20多年里面做了11種成功的設(shè)備，包括刻蝕、薄膜、還有濕法等等檢測(cè)設(shè)備。

如果大家知道歷史的話，幾乎絕大部分的設(shè)備的領(lǐng)軍人物都是中國(guó)留學(xué)生，并不是美國(guó)人，也不是外國(guó)人。

這是這個(gè)時(shí)代的原因。在80年代，我是最早到美國(guó)留學(xué)的，后來(lái)又去了很多人。而這些人都喜歡工程、物理、數(shù)學(xué)、化學(xué)、工程，都有耐心。所以他們后來(lái)都很多進(jìn)入了半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)產(chǎn)業(yè)，都做了很大的貢獻(xiàn)。其中做了最主要貢獻(xiàn)的二三十人，其實(shí)現(xiàn)在都在國(guó)內(nèi)工作。

有很多人有誤解，美國(guó)政府限制美國(guó)的設(shè)備不能給中國(guó)運(yùn)，但是他們不知道這些設(shè)備都是中國(guó)人做的，這些人都回國(guó)，而且現(xiàn)在回國(guó)的人更多，所以我有非常充分的信心。

主持人：葉所長(zhǎng)剛才提到要開(kāi)辟第二條賽道。現(xiàn)在的設(shè)備有多先進(jìn)，您能不能帶我們?nèi)ドa(chǎn)線上看一下，看一下我們到底是一個(gè)什么樣的設(shè)備。（采訪切換到中微的生產(chǎn)車間）

尹志堯：這就是我們中微的大生產(chǎn)車間。樓上那一層是把亞系統(tǒng)做好，樓下這層是把它全部組裝成一個(gè)完整的機(jī)器。經(jīng)過(guò)組裝和測(cè)試，大概平均2到3個(gè)星期，一個(gè)BAY（生產(chǎn)區(qū)）可以生產(chǎn)一臺(tái)機(jī)器，一共有19個(gè)BAY。

這樣一年的話可以至少生產(chǎn)上600臺(tái)，最多可以到1000臺(tái)這樣的一個(gè)數(shù)量。（我們）這個(gè)生產(chǎn)廠房是國(guó)際上的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)廠房中最干凈的一個(gè)。因?yàn)槲覀冇锌招牡匕澹蟹浅：玫奈⒘？刂疲覀兛梢宰龅?000級(jí)以下。

主持人：您所謂的1000級(jí)我們應(yīng)該怎么理解？

尹志堯：1000級(jí)就是在一個(gè)立方英尺里面，能找到最小的顆粒有幾顆。

主持人：1000個(gè)以下叫1000級(jí)？

尹志堯：100個(gè)以下叫100級(jí)，1個(gè)以下就是1級(jí)。我們現(xiàn)在可以做到幾百級(jí)，也就1000級(jí)以下。絕大多數(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備公司，都是10000級(jí)的生產(chǎn)車間。它底下沒(méi)有空心地板，所以它的潔凈程度要比我們低1個(gè)數(shù)量級(jí)。

所以我們和國(guó)際上最先進(jìn)的刻蝕機(jī)同代。這個(gè)前端柜就是一盒一盒的芯片放在這里面，里面有機(jī)械手把它一片一片抽進(jìn)去，把它裝到每個(gè)反應(yīng)臺(tái)上，經(jīng)過(guò)加工。加工完了以后，一片一片送回來(lái)。一共4個(gè)臺(tái)可以放100片。

主持人：像這種加工的速度是不是決定了它機(jī)器的效率？

尹志堯：對(duì)對(duì)對(duì)。像這樣的一個(gè)UD-RIE，它一片硅片大概要刻一個(gè)半小時(shí)，最長(zhǎng)可以要2個(gè)小時(shí)。

原來(lái)就兩三分鐘刻一層，現(xiàn)在刻這么（多）幾十層、一百多層，它刻的時(shí)間就會(huì)很長(zhǎng)。

因?yàn)樾枰獣r(shí)間，所以需要更多的機(jī)臺(tái)。比如這個(gè)機(jī)器，在一個(gè)中國(guó)的先進(jìn)客戶上，有300個(gè)感應(yīng)器了，每天都在刻蝕。每一個(gè)機(jī)器每年加工這個(gè)孔，剛才我說(shuō)的10的18次方孔，100萬(wàn)萬(wàn)億個(gè)孔，那如果有300臺(tái)的話，你想想每年刻多少孔。

主持人：這也解釋我以前的一個(gè)困惑：為什么這個(gè)芯片越速度越快、體積越小越貴，是不是溢價(jià)太高了？其實(shí)還不是，它本身的成本就是要高很多。

尹志堯：結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜。而且這個(gè)需要40000瓦、50000瓦的高功率，所有的東西都做的很昂貴。

這個(gè)生產(chǎn)廠房的這個(gè)盡頭，都是最新做出的薄膜設(shè)備。我們現(xiàn)在一共有了十幾種不同的薄膜設(shè)備。

刻蝕設(shè)備等于在真空里把東西拿掉，薄膜是把東西放上去，這是兩個(gè)相反的過(guò)程。那這個(gè)什么意思呢？就是我當(dāng)時(shí)刻了一個(gè)深孔要60（μm）到40（μm）的深孔，然后把鎢的金屬擴(kuò)散進(jìn)去，把它填滿，這是非常難的一件事情。

因?yàn)槟憧催@么細(xì)的一個(gè)孔，你填的話上面就收口了，底下就空的了。

主持人：那我從兩邊填呢，可能中間就填不上了？

尹志堯：底下沒(méi)有，底下不open（開(kāi)放），底下是底兒，就只能從上面填。

我們有非常獨(dú)特的工藝過(guò)程，是專利保護(hù)的工藝過(guò)程，可以把它填的很好。現(xiàn)在我們的填充效率要超過(guò)美國(guó)公司最好的設(shè)備，所以像國(guó)內(nèi)的話，這個(gè)鎢的填充基本上是全是我們的市場(chǎng)。現(xiàn)在都是靠我們的這個(gè)機(jī)器，薄膜機(jī)來(lái)做。我們開(kāi)發(fā)這個(gè)設(shè)備，非常漂亮的設(shè)備。

主持人：您用漂亮這個(gè)詞（形容）。

尹志堯：對(duì)，不是外形的問(wèn)題，它做出的結(jié)果非常漂亮。（回到采訪演播室）

四、歷經(jīng)多輪海外訴訟，白紙起步從零攻堅(jiān)

主持人：如果我們倒回到二十多年前，您回國(guó)創(chuàng)業(yè)的那一天，按照我們常人的邏輯，可能您那個(gè)時(shí)候在美國(guó)做的非常的好。當(dāng)面臨一個(gè)確定性和一個(gè)不確定的時(shí)候，人的本能可能要選擇這個(gè)確定性的，比如在美國(guó)繼續(xù)工作下去。為什么您選擇回到中國(guó)？

尹志堯：我是1980年，北京大學(xué)第二個(gè)自費(fèi)出國(guó)的留學(xué)生，是比較早就去美國(guó)了，沒(méi)想到一下在美國(guó)就工作生活了20年，（40年）中的后20年都在硅谷，大部分時(shí)間做設(shè)備。

我覺(jué)得我給美國(guó)的產(chǎn)業(yè)界也做了相當(dāng)多的貢獻(xiàn)了。當(dāng)時(shí)已經(jīng)有80個(gè)美國(guó)專利，差不多200個(gè)國(guó)際專利。應(yīng)材（應(yīng)用材料公司）、泛林和當(dāng)時(shí)泛林與東京電子合資公司，都是我?guī)椭_(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備。

但是缺的一點(diǎn)是，我畢竟是在中國(guó)出生的，我的祖上三代都是從國(guó)外回來(lái)報(bào)效的，所以我說(shuō)我也要回國(guó)做事情，于是回來(lái)了。

朱民：我也講一個(gè)細(xì)節(jié)。我們有一次董事會(huì)在硅谷開(kāi)會(huì)議的間歇，他（尹志堯）說(shuō)我?guī)闳タ纯次耶?dāng)年的房子，就在那個(gè)小山上，我們兩個(gè)人就開(kāi)著車就上去。他不是一個(gè)小的房子，是個(gè)很大很大的房子。

我說(shuō)尹總，你已經(jīng)有這么大的產(chǎn)業(yè)，你還下定決心拋家撇業(yè)的回國(guó)，你圖的是什么？他跟我說(shuō)，就是要做事業(yè)，要情懷，我要報(bào)國(guó)。

主持人：當(dāng)時(shí)您手握幾百項(xiàng)專利，離開(kāi)美國(guó)的時(shí)候可能什么都不能拿走。那就意味著您來(lái)到中國(guó)大陸之后，會(huì)走出一條全新的道路。那個(gè)時(shí)候是不是也挺困難的？

尹志堯：我們回國(guó)是非常敏感的一件事情。所以當(dāng)時(shí)讓所有回國(guó)的人，開(kāi)始15個(gè)人，后來(lái)有200人簽字畫押，不許帶任何的文件，而且計(jì)算機(jī)是空白，買個(gè)新計(jì)算機(jī)重新開(kāi)始，這個(gè)要求非常嚴(yán)格。完全一張白紙來(lái)做事情。

能不能做成？說(shuō)老實(shí)話自己心里還是有底氣的。

因?yàn)樵诿绹?guó)做了20年，我所發(fā)明創(chuàng)造的東西不是書本抄來(lái)的，是自己想出來(lái)的。既然我過(guò)去能想出東西，我現(xiàn)在就能想出更好的東西來(lái)，所以我們做的東西，一定不會(huì)再重復(fù)國(guó)外原來(lái)的那些技術(shù)，一定要有創(chuàng)新的地方。

所以我們公司在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的十大原則，其中技術(shù)的創(chuàng)新、產(chǎn)品的差異化和知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)，這三個(gè)是我們的最重要的原則。

主持人：但是即便是從一張白紙開(kāi)始，（您）也遭到了訴訟。訴訟您的理由是什么？

尹志堯：第一個(gè)告訴是商業(yè)機(jī)密告訴。也就是從美國(guó)的大設(shè)備公司，跑到中微有30多人，其實(shí)后來(lái)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止30多人。

他們（美國(guó)設(shè)備公司）就認(rèn)為，我們?nèi)昃涂梢宰鲞@么好的設(shè)備，一定是偷了原來(lái)公司的商業(yè)機(jī)密，這個(gè)是一個(gè)沒(méi)有任何證據(jù)的告訴。

美國(guó)的法律是，告人不需要證據(jù)，只要告就成立，被告必須證明自己清白。

所以我們花了兩年半時(shí)間，結(jié)果發(fā)現(xiàn)沒(méi)有對(duì)方任何的圖紙、工藝配方和技術(shù)機(jī)密。所以（我們）在非常有利的情況下和對(duì)方協(xié)商，就和解了。

后來(lái)的十幾年和美國(guó)的三大公司（應(yīng)用材料、泛林、維易科）打了4場(chǎng)打官司，我們贏了兩場(chǎng)，平了兩場(chǎng)，從來(lái)沒(méi)輸過(guò)。我們?cè)谥R(shí)產(chǎn)權(quán)上，商業(yè)機(jī)密都沒(méi)有出任何問(wèn)題。

張汝京：剛剛提到，在美國(guó)不一定要有證據(jù)，他就可以告你。這個(gè)告的過(guò)程當(dāng)中（它們）不一定告得到，但騷擾你很辛苦。

以前有一個(gè)做GPU的公司，曾經(jīng)被美國(guó)最大公司告，告了五年，最后告不倒，但是在這五年里面已經(jīng)把它拖垮了。

我們現(xiàn)在看到的就是，當(dāng)你做的特別好的時(shí)候，不喜歡你的人就會(huì)找你麻煩，是用各種手段，所以心里面要有一點(diǎn)準(zhǔn)備：如果人家來(lái)告我們，我們曉得怎么樣對(duì)付他。

不過(guò)今非昔比，因?yàn)槲覀儑?guó)內(nèi)的市場(chǎng)比海外還大，它到這邊來(lái)騷擾我們的機(jī)會(huì)比以前少很多。即使無(wú)理取鬧，我們還是大半壁江山、是穩(wěn)坐釣魚臺(tái)，所以就不怕了。何況我們的專利也很多，他來(lái)告我們專利的時(shí)候，最壞的情形，交叉授權(quán)也就解決了。

主持人：如果各種限制因素再繼續(xù)疊加，再繼續(xù)變本加厲的話，我們有應(yīng)對(duì)的方法和應(yīng)對(duì)的策略嗎？

尹志堯：籠而統(tǒng)之講的話，近期對(duì)我們的發(fā)展確實(shí)會(huì)有一些影響，但是反過(guò)來(lái)促進(jìn)了國(guó)內(nèi)的這個(gè)芯片制造，芯片的設(shè)備和零部件材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

最近5年以來(lái)，國(guó)外的強(qiáng)權(quán)已經(jīng)出臺(tái)了30多條限制令，來(lái)限制美國(guó)的先進(jìn)設(shè)備公司，甚至日本、荷蘭的先進(jìn)設(shè)備公司給我們提供設(shè)備。但是適得其反，國(guó)內(nèi)的發(fā)展速度大大加快，所以我覺(jué)得長(zhǎng)遠(yuǎn)講，反而對(duì)我們是個(gè)好處，使我們的發(fā)展更快。

主持人：中微的產(chǎn)品現(xiàn)在已經(jīng)能做到100pm以下的精度，甚至能做到0.02nm原子級(jí)（的操作）。您曾經(jīng)說(shuō)過(guò)這樣一句話，在美國(guó)工作了40年，從來(lái)沒(méi)有想到過(guò)能取得這么高的一個(gè)精密的程度。怎么取得了這么快的速度？

尹志堯：一般來(lái)講，一個(gè)設(shè)備的新的一代需要3到5年的開(kāi)發(fā)（時(shí)間），或者一些從來(lái)沒(méi)開(kāi)發(fā)過(guò)的設(shè)備，甚至用7年的時(shí)間才能開(kāi)發(fā)出來(lái)。

那現(xiàn)在經(jīng)過(guò)努力，我們中國(guó)已經(jīng)有這種能力。一般的話，18個(gè)月到2年就可以把設(shè)備開(kāi)發(fā)出來(lái)。現(xiàn)在一年都開(kāi)發(fā)20多種設(shè)備。

第一個(gè)原因是，我們的這個(gè)工程技術(shù)團(tuán)隊(duì)非常努力，而且有相當(dāng)（豐富）的經(jīng)驗(yàn)。我們?cè)谠O(shè)備的一些亞系統(tǒng)、子系統(tǒng)，也都有了一定的基礎(chǔ)。所以搞一個(gè)新的設(shè)備并不是100%的開(kāi)發(fā)，而是其中的百分之二三十。把反應(yīng)器做修正以后，又出來(lái)了一個(gè)新設(shè)備。

舉這么個(gè)例子，在2023年的11月，我們決定進(jìn)入大平板設(shè)備這個(gè)領(lǐng)域。這個(gè)領(lǐng)域很重要。

大家知道，不管AI也好，先進(jìn)的集成電路數(shù)碼也好，視覺(jué)是很重要的，視覺(jué)是顯示屏是最重要的。但大面積顯示屏正是我們國(guó)家的短板。大概有17種不同的工藝設(shè)備，全部是國(guó)外買的。

而這個(gè)大生產(chǎn)線，像OLED 70%的生產(chǎn)線、全球生產(chǎn)線都在中國(guó)建，但100%的設(shè)備都是外國(guó)的，所以完全沒(méi)有自主可控的可能性。于是我們就決定來(lái)開(kāi)發(fā)這個(gè)設(shè)備。

這個(gè)設(shè)備多大呢？150噸重，15米長(zhǎng)，15米寬，大概有兩層半樓那么高。這種設(shè)備根據(jù)我40年做設(shè)備經(jīng)驗(yàn)，至少（得花）3到5年，甚至可能7年（才能做出來(lái)）。

但我們的精銳團(tuán)隊(duì)非常的給力，從一張白紙到做好這個(gè)設(shè)備，只用了11個(gè)月，讓它可以運(yùn)轉(zhuǎn)。又用了不到4個(gè)月的時(shí)間，就做到了客戶對(duì)下一代的要求，做到5個(gè)百分點(diǎn)以下，18個(gè)月就（把該設(shè)備）運(yùn)到生產(chǎn)線上，又經(jīng)過(guò)幾個(gè)月就核準(zhǔn)。

所以基本是兩年，從一張白紙（從零起步）、沒(méi)做設(shè)備（毫無(wú)設(shè)備基礎(chǔ)）就可以做（研發(fā)）出來(lái)。我們現(xiàn)在已經(jīng)有這個(gè)能力來(lái)做最先進(jìn)的設(shè)備。

主持人：為什么本身的刻蝕機(jī)做的這么好，還要研發(fā)其他的設(shè)備？

尹志堯：早的時(shí)候我就說(shuō)，你要說(shuō)宣稱我有個(gè)刻蝕機(jī)、可以（做到）最好的刻蝕機(jī)，可是你拿到客戶生產(chǎn)線上去，碰到100種不同的薄膜，有的能刻有的不能刻，那就出問(wèn)題了。

所以一般的像應(yīng)材、泛林和東京電子都是刻蝕機(jī)起家的，但是在刻蝕機(jī)做好一定要往薄膜（設(shè)備）走，因?yàn)槲覀円驯∧ひ材孟聛?lái)以后，自己沉積的薄膜自己就可以刻蝕。

這兩個(gè)設(shè)備做好了以后，再有能力、再有野心的話，做什么？量檢測(cè)設(shè)備。如果再有精力做什么？做司法設(shè)備。它的風(fēng)險(xiǎn)在什么地方？過(guò)去的40年，從1984年到現(xiàn)在有7次的大起大伏。設(shè)備的市場(chǎng)一年可以漲100%，一年可以掉百分之三四十，是非常可怕的一種（起伏），它不是很穩(wěn)定的。

比如設(shè)想，我們現(xiàn)在是200億的產(chǎn)值了，突然一年一掉掉到100億了，那公司有幾千人、上萬(wàn)人怎么辦。所以一定要保持穩(wěn)定的高速增長(zhǎng)，就要把雞蛋再放在另外的領(lǐng)域的籃子里面。

什么領(lǐng)域呢？叫泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。有6個(gè)泛半導(dǎo)體領(lǐng)域都是集成電路設(shè)備衍生出來(lái)的。

第一個(gè)就是大平板設(shè)備，第二個(gè)是太陽(yáng)能電池設(shè)備，第三個(gè)是寬晉帶半導(dǎo)體發(fā)光二極管設(shè)備，第四個(gè)是各種特殊器件，第五個(gè)是功率器件，最后（一個(gè)）是現(xiàn)在最熱的先進(jìn)封裝。

所以我們第二維呢，就做這些泛半導(dǎo)體的設(shè)備。把我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力，核心技術(shù)延伸到國(guó)計(jì)民生中一些新的應(yīng)用中，而且是剛性需求、老百姓總要用的東西，這是我們的第三維探索。

五、20000余字總結(jié)領(lǐng)導(dǎo)心得，新品設(shè)計(jì)堅(jiān)持親自把關(guān)

主持人：像中微這樣的科技型創(chuàng)新企業(yè)，面對(duì)不斷變化的市場(chǎng)，要做出自己的反應(yīng)和反饋。管理者的身上是不是應(yīng)該有一些不一樣的特質(zhì)？

尹志堯：我寫了一個(gè)兩萬(wàn)多字的領(lǐng)導(dǎo)能力的十大要點(diǎn)，我覺(jué)得有三個(gè)核心。第一個(gè)是人的價(jià)值觀、人生觀，你為什么而活？為什么而做？如果這個(gè)東西是錯(cuò)的，那你做不成的。在這個(gè)基礎(chǔ)上人必須有拼命的drive（驅(qū)動(dòng)）能力，就是自強(qiáng)不息。

不管周圍的環(huán)境好壞，他是一個(gè)火種，他走到哪兒就把哪起火來(lái)。

還有一個(gè)就是戰(zhàn)略決策能力，是三維立體決策。第一個(gè)，走一步計(jì)劃三步看七步，不能走一步看一步，就時(shí)間標(biāo)度要看遠(yuǎn)。另外一個(gè)方向看廣，最后一個(gè)要看深，看到深度做決定。有了這三維的決定，一般就可以做正確決定了。

我這20多年做了無(wú)窮多的決定，現(xiàn)在看來(lái)大概99%都是對(duì)的，就是因?yàn)橛羞@個(gè)決策的能力。

最后一個(gè)就是讓接班人更好。其實(shí)每個(gè)最偉大的公司，其通病就是一代不如一代。要做好這個(gè)，需要（做好）傳承和接班兩件事。傳承，就是我們花了幾年的時(shí)間寫了600頁(yè)的書。你要做中微就得按照這個(gè)基本的邏輯去做。

主持人：在您的心目當(dāng)中已經(jīng)有這樣的人了嗎？

尹志堯：有一批人。

主持人：您覺(jué)得他未來(lái)能把中微做的比現(xiàn)在更好嗎？

尹志堯：一定比我做的好。

主持人：如果到一個(gè)更高的水平線上，九十多分了再提高每一分可能都挺難的。我們聽(tīng)說(shuō)每提高一分的時(shí)候，您自己都親力親為，有的時(shí)候還加班到凌晨。

尹志堯：說(shuō)老實(shí)話，公司做大了，不能每件事都自己親力親為。但至少在一個(gè)新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)階段，我都會(huì)非常仔細(xì)地和設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、工程團(tuán)隊(duì)討論：現(xiàn)在國(guó)際上第一的設(shè)備、第二的設(shè)備它的優(yōu)點(diǎn)缺點(diǎn)是什么，我們有什么招數(shù)設(shè)計(jì)出一個(gè)新產(chǎn)品，能夠把它的優(yōu)點(diǎn)綜合上、缺點(diǎn)避免到。

（我們）每次都用這樣的一個(gè)邏輯去分析，所以我們都會(huì)提出新的方法來(lái)設(shè)計(jì)。

主持人：我們知道中微公司還有一個(gè)特點(diǎn)，就是全員持股。公司的每一個(gè)崗位，保安司機(jī)都有股票。是這樣嗎？

尹志堯：（對(duì)于）保安，（他如果）是我們的合同工，不是（不持股）。只要是公司的正式雇員，包括門口的接待人員都有股票，司機(jī)也都有股票。

主持人：但是您個(gè)人的持股比例，在這種創(chuàng)業(yè)公司來(lái)講是比較低的。

尹志堯：0.7%。

主持人：您覺(jué)得這樣分散的全員的持股模式，給中國(guó)公司帶來(lái)了什么？

尹志堯：實(shí)際上我覺(jué)得每個(gè)人做事，都是為了自己的精神滿足和物質(zhì)滿足，這就是人們的積極性來(lái)源。所以我們一定要把員工的近期利益和公司獎(jiǎng)金與獎(jiǎng)勵(lì)綁定。所以他近期努力（能）看到結(jié)果，馬上就有結(jié)果。

要把員工的長(zhǎng)遠(yuǎn)利益，也就是他的股票期權(quán)和公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展綁定。有了這樣的綁定，他就能發(fā)揮最大的積極性。

我在四十多年前觀察硅谷那些公司，得到一個(gè)很簡(jiǎn)單的結(jié)論。在起始階段，它們最核心的是得有個(gè)獨(dú)特的技術(shù)，也就是看家本事，必須有個(gè)什么東西比別人先進(jìn)。

但是10個(gè)公司啟動(dòng)，大概只有3、4個(gè)公司能漲起來(lái)，其他公司就倒掉了。它們的營(yíng)運(yùn)能力是最主要的東西。

其實(shí)我認(rèn)為，公司如何去平衡這個(gè)利益集團(tuán)的矛盾和關(guān)系，使每個(gè)利益集團(tuán)基本上得到70%它想要的東西，大家都可以有個(gè)平衡，這是多個(gè)運(yùn)營(yíng)公司的核心。

到了營(yíng)運(yùn)能力強(qiáng)的公司就做大了，真正讓它們的公司成功、長(zhǎng)遠(yuǎn)成功（的原因）是其文化作風(fēng)。

我一直在觀察，怎么把一群人管理到最好，讓他們變成一個(gè)強(qiáng)群。

主持人：聽(tīng)說(shuō)您還創(chuàng)作了一首歌，是嗎？

尹志堯：不是我創(chuàng)造的，是我和作曲家安棟教授合作了6個(gè)月，創(chuàng)作了原來(lái)叫《中微之歌》，現(xiàn)在我把這個(gè)“偷梁換柱”變成科創(chuàng)之歌。所以大家都可以唱。

主持人：這個(gè)科創(chuàng)之歌跟您剛才提到這些愿景有關(guān)聯(lián)嗎？

尹志堯：完全一樣。那里面的三句關(guān)鍵的話是我加進(jìn)去的，一個(gè)就是“攀登勇者，志在巔峰”，第二個(gè)是“自強(qiáng)不息，厚德載物”，最后一個(gè)是“芯片越做越小，我們?cè)綉?zhàn)越強(qiáng)”。

來(lái)源：央視頻