全球最先進的光刻機,現在可能找不到買家了。
4月22日,臺積電在美國開技術論壇。副共同營運長張曉強被直接問了一個問題:阿斯麥最新的High-NA EUV光刻機,你們打算什么時候用?
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張曉強的回答很干脆:暫時沒這個計劃。
理由也坦白:太貴了。
一臺超過3.5億歐元,折人民幣差不多28億。這還不算安裝、調試、維護那些后續開銷。張曉強原話是,現有的EUV設備完全夠用,研發靠優化工藝就能往前走,不需要急著換新家伙。
這話從臺積電嘴里說出來,分量不一樣。
臺積電是全球最大的芯片制造設備買家,明年資本支出預計560億美元。連它都嫌貴,這個世界上還有誰買得起?
消息出來當天,阿斯麥股價就往下掉了。
很多人可能覺得,不就是一家客戶猶豫了一下么,至于這么大反應。至于。因為阿斯麥現在面對的不是某一個客戶砍單,是整個客戶池在結構性地萎縮。
先把這臺機器的事說清楚。
阿斯麥的High-NA EUV,是目前地球上最先進的芯片制造設備。數值孔徑從0.33拉到0.55,分辨率大幅提升,能在芯片上刻出更細的電路。
上一代EUV機器售價1.5億歐元左右。這臺直接翻倍還不止,奔著4億歐元去了,比波音787還貴。
阿斯麥對這臺機器寄的希望很大。2030年營收目標定在600億歐元,靠的就是這個產品線。
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但現實呢?從推向市場到現在,總共只賣了5臺。
英特爾買了幾臺做技術儲備,三星買了一兩臺撐門面。臺積電也買了一臺,但張曉強說得清楚,那是拿來做研究的,跟量產沒關系。
全球能買得起這臺機器的,攏共就三家:臺積電、三星、英特爾。臺積電明說了不急,三星的3納米代工沒找到足夠客戶,回本周期拉得老長,英特爾有自己的算賬方式,采購規模有限。
這道算術題,阿斯麥不會算嗎?當然會。但他們被夾在了一個根本解不開的局里。
這個局,一半是商業的,另一半是政治的。
先說商業這一半。
芯片行業有個悖論:工藝越先進,能用的客戶越少。
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全球九成以上的芯片需求,用DUV光刻機就能搞定。真正需要2納米、3納米工藝的,幾乎只有英偉達、蘋果、高通這幾家的旗艦產品。
臺積電2納米去年底已經量產了,用的就是現有EUV設備,良率沒問題。更關鍵的是,臺積電現在的技術路線在往減EUV的方向走。A14制程規劃里,EUV層數控制得更少,繼續用Low-NA機型。
說白了,阿斯麥花了幾百億研發出來的最新技術,現在最大的客戶說用不上。
這還不是最要命的。最要命的是政治那一半。
阿斯麥一直有個最大的金主,中國。
中國大陸市場一度貢獻了阿斯麥超過四成的營收。2024年中國從荷蘭進口了價值約97億美元的光刻機,2025年還略有增長。
但美國的出口管制一輪接一輪地收緊。MATCH法案把對華出口卡得死死的,不只是EUV不賣,連DUV的售后維護都開始受限。荷蘭政府不給續某些機型的維修許可,中國市場銷量眼看著往下掉。
阿斯麥CEO傅恪禮自己預估,2026年中國市場占銷售額比例會從33%掉到20%。
他還說了句很坦誠的話:美國的打壓措施只會適得其反,讓中國更努力地自己搞。你試圖阻止的人,會更加努力地取得成功。
這話很快就應驗了。
在這個被封鎖的窗口期里,中國本土產業鏈在悶頭干一件事:自己造。
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2025年5月,上海微電子28納米浸沒式DUV光刻機交付中芯國際量產線。不是實驗室樣機,是直接上產線跑。良率穩定在90%以上,有的批次跑到95%。光源國產化率做到70%,能量密度反而比同類進口機型高了15%,連續運行300小時沒出故障。
光源誰供的?北京科益虹源。60瓦ArF準分子激光器,獨家供應上海微電子,目前已交付超過50套系統。
工作臺呢?華卓精科,國內唯一能自研雙工件臺的企業。定位精度做到1.7納米,打破了阿斯麥在這上面的長期壟斷。
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鏡頭系統是長春光機所供的,物鏡數值孔徑做到0.93,支持28納米及以下節點。關鍵部件國產化率從2018年的31%干到了82%。
今年3月,中科院又放了一個大招。他們搞出了全固態DUV光源,能打193納米相干光,跟主流DUV曝光波長完全一樣。這個設計的妙處在于體積小、不依賴稀有氣體、能耗大幅降低。理論上一路可以撐到3納米工藝節點。
當然,功率和頻率跟阿斯麥的量產機還有不小差距,現在是驗證階段。但方向已經指出來了。
中芯國際把14納米良率從50%磨到了85%以上。長江存儲232層3D NAND量產。南大光電ArF光刻膠通過批量驗證,過去被日本企業壟斷的高端材料市場,開始重新洗牌。
封鎖會讓中國更努力,不是客套話,是正在發生的事。
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說回阿斯麥。
他們的困局很清楚:政治邏輯和商業邏輯撞在了一起,政治邏輯贏了。
商業邏輯說,中國是全球最大的芯片制造設備買家,你得好好服務這個客戶。政治邏輯說,先進技術不能流向對手。于是出口被鎖住。
出口一鎖,中國自己的替代就開始長。替代長起來,中國的訂單就永久性萎縮。
阿斯麥把寶押在了最尖端的High-NA EUV上,指望著臺積電、三星這些頂級客戶用大訂單把研發成本攤回來。但臺積電一算賬:28億一臺,用現有設備也能干,不買。
兩條路一起堵。
中國這邊,想賣賣不了。臺積電那邊,覺得不值。那臺花了天價研發、單臺要價將近30億的機器,被鎖在了中間。左邊是政治,右邊是商業,挪不動。
決策者以為自己手里的牌夠大,大到可以改寫市場邏輯。但市場從來不說狠話,它只是默默地算完賬,然后給你一個你接不住的結果。
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最終你會發現,再先進的機器也得有人買單。沒人買單,就是一堆昂貴的零件。而那些被你擋在門外的客戶,一旦在封鎖里建立起了替代能力,暫時的市場缺口就會變成永久的市場流失。
從盾構機到北斗,從空間站到光刻機,故事沒變過:凡是被逼到墻角的追趕,都會在某一天變成超越。
這臺叫價將近30億卻找不到買家的光刻機,只是又一次證明了這件事。
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