北交所迎硬科技標桿!中科儀以硬核實力護航半導體產業鏈自主可控

2026年4月29日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（股票簡稱：中科儀，股票代碼：920186）正式登陸北京證券交易所！

作為國內領先的半導體制造核心部件提供商與真空科學儀器設備供應商，中科儀專注于干式真空泵、真空科學儀器設備的研發、生產與銷售，產品廣泛應用于集成電路晶圓制造、光伏等泛半導體領域，并深度服務國家重大科技基礎設施與前沿科研場景，以硬核技術能力支撐國家戰略產業發展。

1）深耕客戶生態，以穩健業績穿越行業周期

硬科技企業的長期成長，始于扎實的業績底盤，成于穩固的客戶生態。招股書顯示，2023年至2025年公司營業收入分別為8.52億元、10.82億元和12.91億元，復合增長率為23.12%；扣非歸母凈利潤分別為7298.08萬元、8787.75萬元和10297.96萬元，復合增長率為18.79%。在行業周期波動中依然保持穩健增長態勢，展現出極強的發展韌性。

這份韌性的核心，源于中科儀精心構筑的雙層客戶體系。報告期內，公司前五大客戶集中度穩定在40%-45%區間，形成了“深度綁定核心龍頭、持續拓展新興客戶”的發展格局。

在半導體核心賽道，公司已與國內主流晶圓廠與設備商建立長期戰略合作，產品批量應用于多條先進產線；在泛半導體領域，成功切入隆基綠能等光伏龍頭供應鏈，2023年對其銷售收入突破1.59億元，成為業績增長的重要支柱。更具里程碑意義的是，公司產品已通過臺積電、大連Intel、SK海力士驗證并實現小批量出貨，技術標準與產品品質獲得全球頂尖廠商認可，為規模化出海奠定了堅實基礎，也讓公司業績增長擁有了更廣闊的想象空間。

2）錨定技術攻堅，以硬核壁壘打破海外壟斷格局

如果說優質客戶是中科儀成長的“壓艙石”，那么硬核自主技術便是其突圍破局的“定盤星”。作為半導體制造的“真空基石”，干式真空泵是晶圓制造環節不可或缺的核心設備，需歷經3-6個月清潔工藝、6-12個月中等工藝、12個月以上苛刻工藝的多層驗證，從研發到批量交付往往需要2-3年周期，長期被海外巨頭壟斷。

而中科儀憑借數十年的科研深耕，實現了多項“國內唯一”的技術突破，是國內唯一覆蓋集成電路先進制程批量應用、唯一實現清潔、中等、苛刻全工藝批量落地的國產干式真空泵企業，產品可支撐14nm先進邏輯芯片與128層以上3DNAND存儲制造，主流產品在抽速、極限真空壓力、MTBF等關鍵性能指標上，與國際競爭對手對標產品基本處于同一水平，有效保障了我國集成電路制造關鍵零部件的自主可控。

這份技術實力，源于持續高強度的研發投入：截至 2025 年 12 月 31 日，公司累計擁有103項發明專利，主導或參與制定13項國家、行業及團體標準，多次承擔“02專項”“863計劃”等國家級重大課題；報告期內研發投入持續攀升，最近三年平均研發投入達10,167.78萬元，研發投入占營業收入比例達9.46%，2025年核心技術產品收入占比高達83.07%，2024年干式真空泵在集成電路領域市占率達12.72%，穩居國產廠商首位，用實打實的技術成果筑起了難以復制的護城河。

3）拓寬應用邊界，以產業協同激活長期成長動能

技術的深度，最終決定了發展的廣度。中科儀并未局限于半導體單一賽道，而是以自主可控的真空核心技術為支點，將技術能力持續延伸至高增長的泛半導體、新能源、科研儀器及國家重大科技基礎設施等關鍵領域。

在真空科學儀器設備領域，公司依托數十年技術積淀，完成六代分子束外延（MBE）設備的迭代研制，累計交付超60臺套，穩居國內科研用MBE設備領域領先地位，為量子技術、紅外探測、5G通信等前沿科學研究提供了關鍵裝備與核心支撐。

在國家重大科技基礎設施領域，中科儀是國內大科學工程真空科學儀器設備的核心供應商，先后深度參與北京正負電子對撞機、蘭州重離子加速器、上海三代光源等11項國家級重大科技基礎設施建設，并憑借上海光源項目榮獲2013年度國家科學技術進步一等獎。依托本次北交所上市，公司擬募集資金8.25億元，重點投向干式真空泵產業化建設項目，項目達產后將形成年產2.65萬臺的規模化產能，為全面承接半導體國產替代浪潮打開廣闊成長空間。

從實驗室的技術攻堅到晶圓產線的規模化落地，從國家大科學裝置的關鍵支撐到全球半導體產業鏈的突破出海，中科儀的發展歷程，始終與中國高端制造自主可控的時代使命同頻共振、同向而行。

登陸資本市場，既是對公司數十年技術積淀與經營成果的權威認可，更為公司持續推進技術迭代、產能升級與全球化布局注入強勁資本動能。站在全新的歷史起點，中科儀將繼續堅守客戶為本、創新為魂的發展理念，不斷鞏固國產真空裝備龍頭地位，以硬核技術筑牢半導體產業鏈安全屏障，奮力書寫中國高端裝備自主創新、高質量發展的嶄新篇章。