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      ASML公司CEO:中國芯片落后世界8年,因為他們已經8年沒有獲得我們的EUV光刻機

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      ASML總裁Christophe Fouquet在接受荷蘭《電訊報》記者采訪時表示:就EUV技術來說,沒有看到任何證據能夠證明中國已經在突破封鎖,這是一個十年以上的大工程,而不是兩三年的小項目。 中國已經長達8年沒有獲得我們的EUV光刻機,在先進芯片制造上落后約8年時間。 不過中國也在取得一些技術成果,并且中國還在持續投入巨資研發設備,這必然會影響全球芯片產業的格局。

      PART.01

      初見端倪

      中國大陸晶圓制造企業與ASML的合作可以追溯到2000年代初。以中芯國際為代表的晶圓廠,長期采購i-line、KrF以及ArF等DUV光刻設備,支撐起從90nm到28nm的工藝演進。

      2018年成為關鍵轉折點。當時中芯國際曾計劃采購一臺EUV光刻機,這是中國企業首次接近先進制程核心設備。但隨后,在美國政府持續施壓下,荷蘭政府最終未批準出口許可,這臺設備未能交付。

      同一時期,華為、中興通訊相繼遭遇制裁,美西方對中國半導體技術限制越演越烈。

      PART.02

      全面圍堵

      進入2019年后,圍繞先進制程的封鎖進一步加劇。

      EUV設備成為絕對禁區。由于其涉及超高精度光源(13.5nm波長)、反射鏡系統以及復雜的系統集成,全球僅ASML具備量產能力。缺失EUV光刻機中國完全失去先進制程的制程能力。


      不僅EUV,部分先進DUV設備(如浸沒式ArF)也被納入出口管制,使中國企業在14nm及以下節點的擴展能力受限。

      提出最嚴限制法案:只要是中國人造不出來的設備,全部禁止出口。只要是那些中國企業高度依賴進口,并且本土企業無法制造出來的技術設備,美國企業及盟友企業均不允許向中國企業提供。

      從Applied Materials、Lam Research到KLA Corporation,再到關鍵材料與EDA工具,限制逐漸覆蓋設計—制造—設備—材料全鏈條。這一階段的本質,不只是卡設備,不是卡材料,而是試圖維持現狀,讓中國永遠有技術代差。

      PART.03

      真假8年

      ASML總裁落后8年說法是否成立?

      它的邏輯是:EUV光刻已經8年沒有給到中國,而先進制程量產節點(7nm及以下)自2018年前后開始商業化,恰逢此時中國企業沒有高端光刻設備,缺乏EUV支撐,難以規模化進入5nm/3nm,先進邏輯芯片代際演進受阻。

      從“最先進量產節點”這一單一指標來看,這一說法具有一定現實基礎。

      但中國:

      在成熟制程(28nm及以上)、功率器件、特色工藝(如BCD、CIS)等領域,中國并未“落后8年”,部分甚至具備競爭優勢。

      在當前全球半導體需求中,汽車電子、工業控制等大量應用仍依賴成熟工藝,中國仍扮演著重要角色。

      通過多重曝光(multi-patterning),在DUV條件下仍可逼近更先進節點,盡管成本和復雜度更高。

      PART.04

      未來可期

      未來中國半導體與世界的差距會擴大,還是越來越小?

      1. 先進制程仍存在差距

      EUV及后續High-NA EUV仍將由ASML主導,中國短期難以追平,這是不得不承認的事實。

      2. 成熟制程全面崛起

      在28nm及以上領域,中國有望實現完全自主可控,并形成規模優勢,在全球占據一席之位。

      3. 技術路徑多元化

      Chiplet(小芯片)、先進封裝等技術協同發展,將在一定程度上繞開制程瓶頸,重塑競爭規則。

      短期內, 中國在最尖端領域可能仍有明顯差距,但在封鎖壓力下,會快速補齊產業鏈,并在部分環節形成反向突破。

      小小寰球,有幾個蒼蠅碰壁。嗡嗡叫,幾聲凄厲,幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國,蚍蜉撼樹談何易。正西風落葉下長安,飛鳴鏑。

      多少事,從來急;天地轉,光陰迫。一萬年太久,只爭朝夕。四海翻騰云水怒,五洲震蕩風雷激。要掃除一切害人蟲,全無敵。

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