以極致凈水工藝,護航半導體精密制造。
超純水是半導體生產的 “核心血液”,水質精度直接決定制程穩定性與產品良率。
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面對行業嚴苛用水標準,恒大興業憑借成熟技術積淀與落地經驗,匠心打造100m3/d 半導體超純水一體化解決方案,用穩定可靠的全流程工藝,為高端制造筑牢高純用水根基。
方案采用:預處理 + 雙級 RO + 脫氣膜 + EDI 精制 + 終端精處理全鏈路凈化工藝,精準匹配半導體生產用水要求,確保出水電阻率≥18MΩ?cm(25℃),各項水質指標持續穩定達標。
預處理單元以多介質過濾、活性炭過濾為核心,高效去除原水中懸浮物、膠體、余氯及有機物,從源頭保護后端膜元件與核心設備,為系統長期穩定運行筑牢基礎。
雙級反滲透作為核心除鹽單元,搭配精密保安過濾,深度去除水中離子、硅化物、微生物與有機污染物,實現高效初級脫鹽,為后續深度精制提供優質進水。
真空脫氣膜與EDI電去離子協同作業,脫除水中溶解CO?、O?以穩定水質工況,同時實現連續深度脫鹽;工藝無化學再生、綠色節能,完美適配半導體連續化生產需求。
終端精處理環節通過 UV-TOC降解、SMB精拋光混床與 0.2μm 精密過濾三重把關,配合板式換熱器溫控、氮封水箱穩壓輸送,精準把控水質與供水參數,穩定滿足車間終端用水標準。
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系統配套加藥阻垢、RO在線清洗、PLC全自動控制及全流程在線監測模塊,運行高效、運維簡便,可實現智能化穩定值守。
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從方案設計、設備集成到工程實施、后期運維,恒大興業環保提供一站式專業服務,以技術實力與工程經驗保障項目落地成效。
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