日本芯片公司社長：追求獨立自主，所有零件自己造，最終面臨失敗

前沿導(dǎo)讀

據(jù)《日經(jīng)BP》新聞指出， 日本曾經(jīng)是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的霸主，并且統(tǒng)治了全球光刻機市場，但是如今卻輸給了荷蘭的ASML。甚至日本最先進的半導(dǎo)體公司Rapidus，都已經(jīng)引進ASML的EUV光刻機來制造先進芯片。

Rapidus公司的社長小池淳義在接受日經(jīng)新聞記者采訪時指出：什么都想自己做，追求在技術(shù)上面的獨立自主，這是日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)失敗的主要原因。瞄準(zhǔn)尖端芯片技術(shù)的Rapidus，未來將會與美國的IBM、IMEC（比利時微電子研究中心）等機構(gòu)密切合作，掌握技術(shù)主導(dǎo)權(quán)。

參考資料： 阿斯麥為何能超越尼康和佳能？ https://mp.weixin.qq.com/s/Pg14NLCRxTvcRf3s8GZOkg

在上世紀(jì)90年代，尼康和佳能是全球光刻機產(chǎn)業(yè)的霸主。而1984年才成立的荷蘭ASML，還只是一個因為被母公司飛利浦嫌棄花錢太多，從而獨立出來的新光刻機企業(yè)。

在尼康和佳能發(fā)展起來之前，美國的GCA和珀金埃爾默是光刻機市場的初代霸主。

但是美國光刻機企業(yè)仗著自家產(chǎn)品的市場占比較高，開始慢待客戶，甚至還會優(yōu)先滿足于美國本土客戶，然后才輪到其他海外企業(yè)。哪怕是海外企業(yè)采購光刻機的訂單時間比美國本土企業(yè)早，GCA和珀金埃爾默也會優(yōu)先給美國企業(yè)供貨。

在這種情況下，日本政府推出了超大規(guī)模集成電路計劃（VLSI），聯(lián)合尼康、佳能、索尼、東芝、NEC、富士、東京電子等日本頂尖的科技企業(yè)發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)，提升日本半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的競爭力。

尼康和佳能承擔(dān)光刻機項目的研發(fā)，本身這兩家企業(yè)就是傳統(tǒng)的光學(xué)巨頭，擁有制造光學(xué)鏡頭及工業(yè)設(shè)備的技術(shù)工廠，再加上日本的東京應(yīng)化、富士公司所制造的配套材料，尼康率先完成了光刻機的整機研發(fā)并交付給東芝等企業(yè)制造芯片，佳能緊隨其后。

而且尼康等企業(yè)注重客戶服務(wù)，在售賣光刻機的同時還附贈工程師的服務(wù)包，提供部分技術(shù)支持。這讓尼康開始在國際市場上生根發(fā)芽，那些被美國光刻機企業(yè)冷落的國際客戶紛紛開始轉(zhuǎn)向采購尼康的光刻機設(shè)備。

隨著尼康市場份額的不斷擴大，美國光刻機企業(yè)的市場份額隨之下滑，再加上美國GCA等企業(yè)常年狂妄傲慢的態(tài)度，讓其忽略了先進技術(shù)的研發(fā)，最終將光刻機市場拱手讓給了尼康和佳能。

整合技術(shù)

從2000年開始，ASML異軍突起，憑借著浸潤式技術(shù)開始搶奪尼康和佳能的光刻機市場。

尼康和佳能這種傳統(tǒng)的巨頭企業(yè)，都擁有獨立開發(fā)并制造光學(xué)鏡頭的能力，并且其光刻機的大部分零件均來自于日本本土的供應(yīng)鏈體系。

反觀ASML，其光刻機的大部分零件需要依賴于全球供應(yīng)鏈的支持，并且ASML也沒有尼康、佳能那種獨立制造光刻機鏡頭的能力，完全就是一個方案的整合商。

就是這么一個技術(shù)方案的整合商，卻成為了如今光刻機產(chǎn)業(yè)尖端技術(shù)的唯一選手。

ASML的看家技術(shù)就兩個，一個是對準(zhǔn)系統(tǒng)，一個是整合技術(shù)。

2002年，臺積電工程師林本堅開發(fā)了浸潤式技術(shù)，在鏡頭和光刻膠之間加入超純水，193nm的波長打入水中形成折射，波長縮短至134nm。此時的尼康正在通過提升鏡頭的硬件素質(zhì)，試圖將193nm的波長縮短至157nm，制造更先進的芯片。

林本堅帶著浸潤式技術(shù)尋求合作，尼康已經(jīng)在157nm波長上投入太多資源，直接拒絕了林本堅的方案。而ASML選擇與林本堅合作，開發(fā)出了后來劃時代的浸潤式光刻機。

而真正讓ASML通吃市場的產(chǎn)品，則是擁有雙工作臺（代號NXT）的“TWINSCAN”系列光刻機。

TWINSCAN NXT：1950i，這是ASML第一款支持雙工作臺的浸潤式光刻機。

該設(shè)備可以并行處理兩枚晶圓，一邊進行曝光，另一邊進行測量，并且ASML的晶圓對準(zhǔn)系統(tǒng)很強大，這直接提升了光刻機的制造效率。ASML后續(xù)制造的EUV光刻機，也是采用了這種技術(shù)體系。

在制造浸潤式光刻機的同時，ASML還與美國達(dá)成合作，共同推進EUV技術(shù)的落地。

并且ASML的供應(yīng)鏈全都是世界頂級的存在，德國蔡司是ASML全球唯一的鏡頭及曝光系統(tǒng)供應(yīng)商。盡管在某些關(guān)鍵技術(shù)上依賴于單一供應(yīng)商的風(fēng)險很大，但是除德國蔡司之外，其他企業(yè)并沒有能力制造出足以商業(yè)化的整套EUV曝光系統(tǒng)。

荷蘭半導(dǎo)體觀察者馬克·海金克指出，當(dāng)ASML將EUV設(shè)備成功量產(chǎn)之后，尼康在EUV領(lǐng)域的勝算已經(jīng)幾乎沒有了。其他競爭對手可以嘗試挑戰(zhàn)ASML的EUV技術(shù)，但是想要跟ASML一樣量產(chǎn)商用，目前還未看到有競爭者成功過。